属期归属名单的核查意见
沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）等相关法律、法规及规范性文件和《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，对公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期、2021年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：
一、关于公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期归属名单
公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期35名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合2021年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司2021年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。监事会同意本次符合条件的35名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为37.296万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
二、关于公司2021年限制性股票激励计划预留授予部分二个归属期归属名单
公司2021年限制性股票激励计划预留授予部分二个归属期41名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合2021年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司2021年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条
件已成就。监事会同意本次符合条件的41名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为11.618万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会
2024年4月30日