海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金事项进行核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价格为85.00元/股，募集资金总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用后，募集资金净额为人民币3,481,258,520.34元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》。
为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
二、募集资金投资项目情况
根据《盛美上海首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》《关于使用
部分超募资金投资建设新项目的公告》《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的公告》《关于使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施进度的公告》，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票的募集资金在扣除发行费用后用于如下项目：
单位：万元
序号
| 序号 | 募投项目 |
| 原拟投入募集资金 | 调整后拟投入募集资金 |
1 盛美半导体设备研发与制造中心 70,000.00 120,000.002 盛美半导体高端半导体设备研发项目 45,000.00 45,000.003 补充流动资金 65,000.00 65,000.004 高端半导体设备拓展研发项目 73,087.15 73,087.155 盛美韩国半导体设备研发与制作中心 24,500.00 24,500.00
277,587.15 327,587.15
三、本次使用闲置募集资金暂时补充流动资金的计划
根据募集资金投资项目的资金使用计划及项目的建设进度，公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，为了提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，公司拟使用不超过人民币25,000.00万元（含本数）的闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效，在有效期内上述额度可以滚动循环使用，并且公司将随时根据募投项目的进展及需求情况及时归还至募集资金专用账户。本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金仅限用于公司的业务拓展、日常经营等与主营业务相关的生产经营，不会通过直接或者间接安排用于新股配售、申购，或者用于股票及其衍生品种、可转换公司债券等的交易，不会变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行。
四、审议程序
公司于2024年6月25日召开了第二届董事会第十一次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，使用不超过人民币25,000.00万元（含本数）的闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效，在有效期内上述额度可以滚动循环使用，并
且公司将随时根据募投项目的进展及需求情况及时归还至募集资金专用账户。公司履行的审批程序符合相关法律法规规定，符合监管部门的相关监管要求。
五、监事会意见
公司监事会认为：公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金，有利于提高募集资金的使用效率，降低公司财务成本，满足公司对流动资金的需求，符合公司及全体股东的利益，不会影响募投项目的正常实施，不存在改变或变相改变募集资金用途的情形。该事项的内容和审议程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规以及公司《募集资金管理制度》的规定。因此，公司监事会同意公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的事项。
六、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金事项已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序；本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金仅限用于公司的业务拓展、日常经营等与主营业务相关的生产经营，不会通过直接或者间接安排用于新股配售、申购，或者用于股票及其衍生品种、可转换公司债券等的交易，不会变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行；本次暂时补充流动资金时间不超过12个月，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金事项无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
张博文
李 凌
海通证券股份有限公司
年 月 日