海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司
部分募集资金投资项目延期的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司募集资金投资项目延期事项进行核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价格为85.00元/股，募集资金总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用后，募集资金净额为人民币3,481,258,520.34元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》。
为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
二、募集资金投资项目的基本情况
截至2023年12月31日，公司募集资金投资项目实施进展情况详见公司于2024
年2月29日披露的《2023年度募集资金存放与实际使用情况专项报告》（公告编号：2024-018）。
三、募集资金投资项目延期的具体情况及原因
（一）募集资金投资项目延期的具体情况
公司于2023年10月26日召开第二届董事会第六次会议、第二届监事会第六次会议，审议通过了《关于使用超募资金增加募集资金投资项目投资额及调整募集资金投资项目实施进度的议案》，同意使用超募资金人民币50,000.00万元用于公司募集资金投资项目建设及调整募集资金投资项目实施进度，将募集资金投资项目“盛美半导体设备研发与制造中心”达到预计可使用状态的时间延期至2024年6月，详见公司于2023年10月28日披露的《关于使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施进度的公告》（公告编号：2023-043）。
结合目前公司募集资金投资项目的实际进展情况，经认真研究论证，在募集资金投资项目的投资内容、实施主体、实施方式等不发生变更的情况下，公司对部分募集资金投资项目达到预计可使用状态的时间再次进行调整，具体如下：
序号
| 序号 | 项目名称 |
| 预定可使用状态日期 |
| 预定可使用状态日期 |
1 盛美半导体设备研发与制造中心 2024年6月 2025年6月
（二）募集资金投资项目延期的原因
政府审批方面，政府部门政策和规范的调整需要公司对设计进行重新修改和施工，公司内部产品设备的升级，也对相应的工艺方面做出了更高的要求。此外涉及危化品的审批过程严格复杂，导致相关施工和报审需要多次调整。幕墙和机电承包商因为各种原因出现了原材料供应不足和人员短缺问题，导致项目受到一定程度的延误。
综上所述，结合项目进展实际情况，为保障募集资金投资项目顺利开展，公司决定将项目达到预定可使用状态的时间再次延期至2025年6月。
四、募集资金投资项目延期对公司的影响
本次部分募集资金投资项目延期是公司根据项目实施的实际情况做出的审
慎决定，未改变募集资金投资项目的投资内容、投资总额、实施主体，不会对募集资金投资项目的实施造成实质性的影响。本次调整不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，不会对公司的正常经营产生重大不利影响，符合公司长期发展规划。
五、履行的审议程序
公司于2024年6月25日召开第二届董事会第十一次会议、第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司部分募集资金投资项目延期的议案》，同意公司本次部分募集资金投资项目延期事项，该事项无需提交公司股东大会审议。
六、监事会意见
监事会认为：公司本次部分募集资金投资项目延期是基于项目实施的实际情况所作出的合理调整。该事项不涉及募集资金投资项目投资内容、实施主体和方式的变更，不改变募集资金的用途，且不会对公司的正常经营产生重大不利影响。决策和审批程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作（2023年12月修订）》等相关法律法规和公司《募集资金管理制度》的规定。因此，监事会一致同意本次募集资金投资项目延期事项。
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，本次部分募集资金投资项目延期系公司根据项目实施的实际情况做出的审慎决定，未改变募集资金投资项目的投资内容、投资总额、实施主体，不会对募集资金投资项目的实施造成实质性的影响。本次调整不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，不会对公司的正常经营产生重大不利影响，符合公司长期发展规划。公司本次对部分募集资金投资项目进行延期的事项已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股
票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次部分募集资金投资项目延期事项无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司部分募集资金投资项目延期的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
张博文
李 凌
海通证券股份有限公司
年 月 日