上海至纯洁净系统科技股份有限公司前次募集资金使用情况的专项报告
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会根据中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于前次募集资金使用情况报告的规定》（证监发行字[2007]500号）的规定，将截至2022年3月31日止的前次募集资金使用情况报告如下：
一、前次募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位情况
1、2017年首次公开发行股票募集资金金额、资金到位情况
公司根据中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司首次公开发行股票的批复》（证监许可[2016]3058号），向社会公开发行人民币普通股（A股）5,200万股，每股面值为人民币1元，每股发行价为1.73元，募集资金总额8,996.00万元，扣除发行费用1,852.47万元，募集资金净额7,143.53万元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2017年1月9日出具的“众会字(2017)第0086号”《验资报告》验证。
2、2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金金额、资金到位情况
公司根据中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资金的批复》（证监许可[2018]2185号）（以下简称“《2185号批复》”），向赵浩、宁波杭州湾新区人保远望启迪科服股权投资中心（有限合伙）、平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）等波汇科技的全体11名股东发行股份并支付现金收购其持有波汇科技的100%出资份额。其中，公司以新增股份26,165,214股支付交易金额43,198.77万元，以现金支付交易金额24,801.23万元，合计交易总金额68,000.00万元。该股份发行事项业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年3月22日出具的“众会字(2019)第2514号”《验资报告》验证。
根据《2185号批复》，公司以非公开发行股票的方式向特定投资者发行20,985,844股股票，发行价格为20.49元/股，募集资金总额429,999,943.56元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为418,517,624.25元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年4月22日出具的“众会字（2019）第3882号”《验资报告》验证。
3、2019年公开发行可转换公司债券募集资金金额、资金到位情况
经中国证券监督管理委员会[证监许可〔2019〕2277号]核准，公司于2019年12月20日公开发行了356万张可转换公司债券，期限6年，每张面值100元，发行总额（募集资金总额）为人民币35,600.00万元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为345,742,075.46元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年12月26日出具的“众会字（2019）第7900号”《验资报告》。
4、2020年非公开发行股份募集资金金额、资金到位情况
2020年11月12日中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）的核准，公司非公开发行不超过78,005,377股新股，截至2020年12月23日，公司本次非公开发行人民币普通股47,749,661股，发行价格28.79元/股，实际募集资金总额为人民币1,374,712,740.19元，扣除各项不含税发行费用人民币20,184,669.49元后，募集资金净额为人民币1,354,528,070.70元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年12月23日出具的“众会字（2020）第8380号”《验资报告》。
（二）前次募集资金的存储及管理情况
1、2017年首次公开发行股票募集资金的存储及管理情况
截至2022年3月31日，公司2017年首次公开发行股票募集资金在银行专户的存储情况如下：
单位：元
| 开户行 | 银行账号 | 初始存放金额 | 2022年3月31日余额 |
| 杭州银行上海闵行支行 | 3101040160000641065 | 55,972,000.00 | 已销户 |
| 兴业银行股份有限公司上海静安支行 | 216250100100121760 | 23,988,000.00 | 已销户 |
| 合计 | 79,960,000.00 | - | |
注：以上两募集资金专户已完成注销手续。
为规范公司募集资金管理，保护中小投资者的权益，公司根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上海证券交易所股票上市规则》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等有关法律、法规和规范性文件的要求，制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》（以下简称“《募集资金管理制度》”），对募集资金的存放、使用及监督等方面均做出了具体明确的规定。
根据《募集资金管理制度》，公司与兴业证券股份有限公司及各开户行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确各方的权利和义务。公司严格按照《募集资金专户存储三方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、使用和管理募集资金，并履行了相关义务，未发生违法违规的情形。
2、2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的存储及管理情况
截至2022年3月31日，公司2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金使用及结余情况如下：
单位：元
| 项目 | 金额（元） |
| 募集资金总额 | 429,999,943.56 |
| 减：发行费用-承销费 | 10,000,000.00 |
| 募集资金到账 | 419,999,943.56 |
| 减：以募集资金置换投资项目自筹资金的金额 | 148,000,000.00 |
| 减：暂时补充流动资金的金额 | 88,000,000.00 |
| 减：支付发行费用 | 2,584,000.00 |
| 减：支付购买资产交易的现金对价 | 100,012,300.00 |
| 减：支付给合波光电购置募投项目固定资产 | 70,721,449.60 |
| 减：永久补充流动资金 | 10,893,193.51 |
| 减：手续费支出 | 1,335.71 |
| 减：其他划款 | 46,083.82 |
| 加：利息收入 | 335,421.75 |
| 募集资金余额 | 77,002.67 |
截至2022年3月31日，公司2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金在银行专户的存储情况如下：
单位：元
| 开户行 | 账号 | 初始存放金额 | 2022年3月31日余额 |
| 兴业银行股份有限公司上海静安支行 | 216250100100149619 | 13,400,000.00 | 已销户 |
| 中国光大银行股份有限公司上海闵行支行 | 36660188000224932 | 248,012,300.00 | 已销户 |
| 杭州银行股份有限公司上海闵行支行 | 3101040160001525416 | 158,587,643.56 | 77,002.67 |
| 合 计 | 419,999,943.56 | 77,002.67 |
根据中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于2019年4月29日分别与兴业银行股份有限公司上海静安支行、中国光大银行股份有限公司上海闵行支行、杭州银行股份有限公司上海分行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》。（以下简称“《三方监管协议》”）。上述《三方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。
3、2019年公开发行可转换公司债券募集资金存储及管理情况
截至2022年3月31日，公司2019年公开发行可转换公司债券募集资金使用及结余情况如下：
单位：元
| 项目 | 金额（元） |
| 募集资金总额 | 356,000,000.00 |
| 减：发行费用-承销费（含税） | 9,480,000.00 |
| 募集资金到账 | 346,520,000.00 |
| 减：投入募投项目-半导体湿法设备制造项目 | 146,477,248.00 |
| 减：投入募投项目-晶圆再生项目 | 200,152,347.49 |
| 减：支付发行费用 | 349,800.00 |
| 减：手续费 | 1,560.89 |
| 减：其他划款 | 10,788.03 |
| 加：存款利息 | 471,544.41 |
| 加：其他划款 | 200.00 |
| 募集资金余额 | - |
截至2022年3月31日，公司2019年公开发行可转换公司债券募集资金在银行专户的存储情况如下：
单位：元
| 开户行 | 账号 | 初始存放金额（元） | 2022年3月31日余额（元） |
| 杭州银行股份有限公司上海闵行支行 | 3101040160001780540 | 146,520,000.00 | 已销户 |
| 兴业银行市南支行-至纯 | 216350100100100151 | 200,000,000.00 | 已销户 |
| 兴业银行市南支行-至微半导体 | 216350100100100783 | - | 已销户 |
| 合计 | 346,520,000.00 |
根据中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于2019年12月30日分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行、杭州银行股份有限公司上海分行签订了《三方监管协议》，明确各方的权利和义务。上述《三方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。公司严格按照《三方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、使用和管理募集资金，并履行了相关义务，未发生违法违规的情形。
4、2020年非公开发行股票募集资金存储及管理情况
截至2022年3月31日，公司2020年非公开发行股票募集资金使用及结余情况如下：
单位：元
| 项目 | 金额（元） |
| 募集资金总额 | 1,374,712,740.19 |
| 减：发行费用-承销费（含税） | 19,000,000.00 |
| 募集资金到账 | 1,355,712,740.19 |
| 减：募投项目-补充流动资金 | 404,610,133.29 |
| 减：暂时补充流动资金 | 300,000,000.00 |
| 减：支付发行费用 | 1,648,000.00 |
| 减：投入募投项目-半导体湿法清洗设备扩产项目 | 112,653,610.90 |
| 减：投入募投项目-光电子材料及器件制造基地建设项目 | 50,668,247.20 |
| 减：手续费 | 3,582.25 |
| 减：其他划款 | 808.60 |
| 加：其他划款 | 1,880.00 |
| 加：利息收入 | 1,992,169.02 |
| 募集资金余额 | 488,122,406.97 |
截至2022年3月31日，公司2020年非公开发行股票募集资金在银行专户的存储情况如下：
单位：元
| 开户行 | 账号 | 初始存放金额（元） | 2022年3月31日余额（元） |
| 兴业银行上海市南支行 | 216350100100120053 | 1,355,712,740.19 | 已销户 |
| 杭州银行股份有限公司上海分行-江苏启微 | 3101040160001981296 | - | 143,050,559.54 |
| 兴业银行股份有限公司 | 216350100100120688 | - | 84,768,517.08 |
| 上海市南支行-合肥至微半导体 | |||
| 上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天津波汇 | 50131000832243490 | - | 260,303,265.08 |
| 上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-科谱天津 | 50131000831666234 | - | 65.27 |
| 合计 | 1,355,712,740.19 | 488,122,406.97 |
根据中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于2020年12月29日分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行、国泰君安证券股份有限公司签订了《募集资金专户存储三方监管协议》（以下简称“《三方监管协议》”），明确各方的权利和义务。同时，为了便于募投项目的实施，公司旗下实施募投项目的子公司开设募集资金专项账户，2021年1月22日，公司、保荐机构国泰君安证券股份有限公司分别与各募集资金存放银行、各募投项目实施主体签署了《募集资金专户存储四方监管协议》（以下简称“《四方监管协议》”）。上述《三方监管协议》和《四方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。公司严格按照《三方监管协议》和《四方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、使用和管理募集资金，并履行了相关义务，未发生违法违规的情形
二、前次募集资金的实际使用情况说明
（一）2017年首次公开发行股票募集资金的实际使用情况
公司2017年首次公开发行股票募集资金使用情况详见附表1。
（二）2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的实际使用情况
公司2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金使用情况详见附表2。
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金的实际使用情况
公司2019年公开发行可转换公司债券募集资金使用情况详见附表3。
（四）2020年非公开发行股票募集资金的实际使用情况
公司2020年非公开发行股票募集资金使用情况详见附表4。
三、前次募集资金实际投资项目变更情况
截至2022年3月31日，公司不存在募集资金实际投资项目变更的情况。
四、前次募集资金投资项目对外转让或置换情况说明
截至2022年3月31日，公司不存在募集资金投资项目对外转让或置换的情况。
五、用闲置募集资金补充流动资金情况
（一）2017年首次公开发行股票募集资金的闲置募集资金补充流动资金情况公司不存在利用2017年首次公开发行股票募集资金暂时补充流动资金或永久性补充流动资金的情况。
（二）2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的闲置募集资金补充流动资金情况公司于2019年4月26日召开第三届董事会第二十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金中的闲置募集资金不超过人民币14,272.89万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至 2020年4月24日，上述补充流动资金的 14,272.89 万元募集资金已到期归还至募集资金专户。公司于2020年4月29日召开第三届董事会第三十一次会议，审议通过了《关于继续使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金中的闲置募集资金不超过人民币14,272.89万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。上述补充流动资金的14,272.89万元募集资金公司已于2021年1月27日归还至募集资金专户。2021年7月5日，公司召开第四届董事会第四次会议、第四届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币9,800万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月。公司于2022年2月15日将“支付本次交易并购整合费用”项目的1000万元归还至募集资金专用账户，其余8800万元暂时闲置募集资金继续用于补充流动资金。
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金募集资金补充流动资金情况
公司不存在利用2019年公开发行可转换公司债券募集资金暂时补充流动资金或永久性补充流动资金的情况。
（四）2020年非公开发行股票募集资金的闲置募集资金补充流动资金情况
公司于2021年1月22日召开第三届董事会第四十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币38,471.27万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超
过12个月。上述补充流动资金的38,471.27万元募集资金公司已于2022年1月21日归还至募集资金专户。
2022 年 1 月24 日，公司召开第四届董事会第十四次会议、第四届监事会第十三次会议， 审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募 集资金中的不超过人民币30,000万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月。
六、用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
（一）2017年首次公开发行股票超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
2017年首次公开发行股票不存在超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
（二）2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
经公司 2021 年第五次临时股东大会审议通过，鉴于“支付本次交易并购整合费用”项目已完成，剩余募集资金将全部用于永久补充公司经营所需的流动资金。
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金的超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
2019年公开发行可转换公司债券募集资金不存在超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
（四）2020年非公开发行股票募集资金的超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
2020年非公开发行股票募集资金不存在超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
七、募集资金项目预先投入及置换情况
（一）2017年首次公开发行股票募集资金项目预先投入及置换情况
公司于2017年3月22日召开第二届董事会第十八次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金4,359.04万元置换预先投入募集资金投资项目的自筹资金。具体情况如下：
单位：万元
| 序号 | 项目 | 总投资金额 | 其中：募集资金金额 | 自筹资金预先投入金额 | 置换金额 |
| 1 | 高纯工艺系统模块化生产项目 | 17,274.74 | 3,371.04 | 12,805.49 | 3,371.04 |
| 2 | 医药类纯水配液系统项目 | 6,000.00 | 1,264.14 | 988.00 | 988.00 |
| 合计 | 23,274.74 | 4,635.18 | 13,793.49 | 4,359.04 |
（二）2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金项目预先投入及置换情况公司于2019年5月16日召开第三届董事会第二十二次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金14,927.84万元置换预先投入募集资金投资项目的自筹资金。具体情况如下：
单位：万元
| 序号 | 项目 | 总投资金额 | 其中：募集资金金额 | 自筹资金预先投入金额 | 置换金额 |
| 1 | 支付本次交易并购整合费用 | 2,340.00 | 2,340.00 | 127.84 | 127.84 |
| 2 | 支付收购波汇科技现金对价 | 24,801.23 | 24,801.23 | 148,00.00 | 148,00.00 |
| 3 | 用于波汇科技在建项目建设 | 20,196.00 | 15,858.76 | - | - |
| 合计 | 47,337.23 | 42,999.99 | 14,927.84 | 14,927.84 | |
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金项目预先投入及置换情况公司于2020年2月26日公司召开第三届董事会第二十九次会议、第三届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金1,543.23万元置换预先投入募投项目的自筹资金。具体情况如下：
单位：万元
| 序号 | 项目名称 | 总投资金额 | 其中：募集资金金额 | 自筹资金预先投入金额 | 本次置换金额 |
| 1 | 半导体湿法设备制造项目 | 18,000.00 | 15,600.00 | 346.62 | 336.44 |
| 2 | 晶圆再生项目 | 21,000.00 | 20,000.00 | 1,536.00 | 1,206.79 |
| 合 计 | 39,000.00 | 35,600.00 | 1,882.62 | 1,543.23 |
注:自筹资金预先投入金额超过本次置换金额部分系自有资金投入
（四）2020年非公开发行股票募集资金项目预先投入及置换情况
2020年非公开发行股票募集资金无置换募投项目先期投入的情况。
八、前次募集资金中以资产认购股份的，该资产运行情况
公司经中国证监会《2185号批复》核准，向赵浩、宁波杭州湾新区人保远望启迪科服股权投资中心（有限合伙）、平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）等波汇科技的全体11名股东发行股份并支付现金收购其持有波汇科技的100%出资份额，交易完成后，波汇科技成为公司的全资子公司。该子公司的资产运行情况如下：
（一）资产权属变更情况
根据上海市松江区市场监督管理局于2019年3月21日核发的《营业执照》（统一社会信用代码91310000740282787T）及波汇科技提供的最新公司章程，赵浩、宁波杭州湾新区人保远望启迪科服股权投资中心（有限合伙）、平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）等波汇科技的全体11名股东持有波汇科技的100%出资份额过户至公司名下的工商变更登记手续已办理完毕。
2019年3月25日，本次发行股份并支付现金购买资产所新增的股份完成登记，中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具了《证券变更登记证明》。
（二）资产、负债账面价值变化情况（合并报表）
单位：万元
| 项目 | 2022.3.31 | 2021.12.31 | 2020.12.31 | 2019.12.31 | 2018.12.31 | 2017.12.31 | 2016.12.31 |
| 资产总额 | 131,924.54 | 132,085.18 | 100,944.96 | 70,192.68 | 60,716.58 | 56,650.08 | 44,952.06 |
| 负债总额 | 70,881.91 | 69,005.72 | 44,451.60 | 20,760.96 | 16,428.38 | 13,851.71 | 18,297.77 |
| 归属于母公司所有者权益总额 | 61,044.34 | 63,047.53 | 56,602.40 | 49,450.86 | 44,277.59 | 42,828.10 | 26,796.57 |
注：2022年3月31日的财务数据未经审计。
（三）生产经营情况
公司取得波汇科技100%股权前后，波汇科技均主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生产及销售，主营业务未发生变化，经营情况良好。2016年度、2017年度、2018年度、2019年度、2020年度、2021年度及2022年1-3月，波汇科技主要经营数据（合并数据）如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年1-3月 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 2018年度 | 2017年度 | 2016年度 |
| 营业收入 | 1,570.04 | 31,479.12 | 31,684.70 | 29,474.69 | 27,995.35 | 24,012.30 | 17,997.95 |
| 营业成本 | 637.36 | 15,145.54 | 14,153.15 | 13,970.81 | 13,948.70 | 12,298.60 | 8,473.21 |
| 归属于母公司所有者的净利润 | -2,006.83 | 6,134.95 | 7,169.16 | 5,106.04 | 3,685.49 | 1,774.52 | 2,241.14 |
| 扣除非经常性损益后归母净利润 | -2,027.93 | 2,567.86 | 6,724.62 | 4,651.63 | 3,297.76 | 1,254.08 | 1,010.61 |
注：2022年1-3月的财务数据未经审计。
（四）业绩承诺事项完成情况
根据公司与波汇科技原股东赵浩、高菁等6方（以下简称“业绩补偿方”）签署的《发行股份及支付现金购买资产的盈利补偿协议》，业绩补偿方承诺波汇科技2018年度、2019年度及2020年度经审计的合并报表扣除非经常性损益后归属于母公司股东的净利润分别不低于人民币3,200万元、4,600万元及6,600万元。根据众华会计师事务所（特殊普通合伙）出具的编号为“众会字（2019）第4394号”、“众会字（2020）第4377号” 和“众会字（2021）第05143号”专项审核报告，波汇科技2018年度至2020年度业绩完成情况如下：
单位：万元
| 年度 | 盈利预测 | 经审计的合并报表扣除非经常性损益及使用募集配套资金产生的效益后归属于母公司的净利润 | 完成率 |
| 2018年度 | 3,200.00 | 3,297.76 | 103.06% |
| 2019年度 | 4,600.00 | 4,991.37 | 108.51% |
| 2020年度 | 6,600.00 | 7,246.87 | 109.80% |
业绩补偿方尚未出现因波汇科技实际业绩未达到约定的业绩补偿标准而需要赔偿的情况。
八、前次募集资金投资项目实现效益情况
（一）2017年首次公开发行股票募集资金投资项目实现效益情况
公司2017年首次公开发行股票募集资金分别用于“高纯工艺系统模块化生产项目”、“医药类纯水配液系统项目”及补充流动资金。由于“高纯工艺系统模块化生产项目”、“医药类纯水配液系统项目”旨在提升公司整体的生产效率和竞争力，项目投产后公司产品竞争力提升，公司行业地位提升，促进公司整体经营效益的提升，但由于项目产出与原有业务一致，且相关募投项目的实施主体与原有业务实施主体一致，募投项目产出较难与原有业务划分，在实际生产经营过中，相关募投项目单独产生的营业收入、成本、费用无法独立核算，无法单独核算效益。
项目投产后，公司高纯工艺系统类业务保持良好盈利能力，营业收入和毛利贡献
持续增长，2017年至2021年，公司主营业务收入中高纯工艺集成系统收入分别同比增长40.17%、82.57%、6.64%,、20.12%及24.86%，业务毛利分别同比增长44.98%、
31.75%、2.56%、40.88%及36.46%。
（二）2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金投资项目实现效益情况
公司2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金分别用于“支付本次交易并购整合费用”、“支付收购波汇科技现金对价”、“用于波汇科技在建项目建设”。由于波汇的募投项目仍在建设期，未达到使用状态，暂未实现效益。
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金投资项目实现效益情况
公司2019年公开发行可转换公司债券募集资金分别用于“半导体湿法设备制造项目”和“晶圆再生项目”。合肥至汇（半导体湿法设备制造项目）预计在2022年下半年投入生产及研发，截至2022年3月31日尚未实现效益；合肥至微（晶圆再生项目）于2021年底完工，截至2022年3月31日，已初步进行有序试生产，暂时效益为负，预计在2022年度能够逐步实现量产。
（四）2020年非公开发行股票募集资金投资项目实现效益情况
公司2020年非公开发行股票募集资金分别用于“半导体湿法清洗设备扩产项目”、“半导
体晶圆再生二期项目”、 “光电子材料及器件制造基地建设项目”和“补充流动资金或偿还债务”。由于募投项目仍在建设期，未达到使用状态，暂未实现效益。
九、募集资金使用的其他情况
2021年12月15日召开第四届董事会第十二次会议、第四届监事会第十一次会议审议通过《关于部分募投项目延期及单个项目节余募集资金永久补流的议案》，根据募投项目当前实际建设情况，同时考虑公司发展规划和内外部环境等多种因素，经公司研究后，为了维护全体股东和企业利益，决定将部分募投项目进行延期，具体情况如下：
截至2021年6月30日，本次募投项目中“用于波汇科技在建项目建设”的募集资金投资进度为28.67%。上述项目在实际执行过程中受多方面因素影响，无法在计划时间内完成全部投资，公司根据本次募投项目的实施进度和实际建设情况，决定将上述项目完工日期由2022年3月延后至2023年3月。
十、其他差异说明
公司前次募集资金实际使用情况与各年度定期报告和其他信息披露文件中披露的内容不存在差异。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会2022年6月16日
附表1：
前次募集资金使用情况对照表（2017年首次公开发行）
单位：人民币万元
| 募集资金净额： | 7,143.53 | 已累计使用募集资金总额： | 7,143.53 | |||||||
| 变更用途的募集资金总额： | - | 各年度使用募集资金总额： | 7,143.53 | |||||||
| 变更用途的募集资金总额比例： | - | 2017年： | 7,143.53 | |||||||
| 投资项目 | 募集资金投资总额 | 截止日募集资金累计投资额 | 实际投资金额与募集后承诺投资金额的差额 | 项目达到预定可使用状态日期（或截止日项目完工程度） | ||||||
| 序号 | 承诺投资项目 | 实际投资项目 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | 募集前承诺 投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | ||
| 1 | 高纯工艺系统模块化生产项目 | 高纯工艺系统模块化生产项目 | 3,371.04 | 3,371.04 | 3,371.04 | 3,371.04 | 3,371.04 | 3,371.04 | 0 | 注1 |
| 2 | 医药类纯水配液系统项目 | 医药类纯水配液系统项目 | 1,264.14 | 1,264.14 | 1,264.14 | 1,264.14 | 1,264.14 | 1,264.14 | 0 | 注2 |
| 3 | 补充流动资金 | 补充流动资金 | 2,508.35 | 2,508.35 | 2,508.35 | 2,508.35 | 2,508.35 | 2,508.35 | 0 | |
| 合计 | 7,143.53 | 7,143.53 | 7,143.53 | 7,143.53 | 7,143.53 | 7,143.53 | 0 | |||
注1：高纯工艺系统模块化生产项目预计投资总额为17,274.74万元，实际投资金额为12,805.49万元，该项目于2017年1月达到预定可使用状态；注2：医药类纯水配液系统项目预计投资总额为6,000.00万元，实际投资金额为1,264.14万元，该项目于2017年12月达到预定可使用状态；注3：募集资金投资项目先期投入及置换情况见详见本报告七（一）之说明；另注：“高纯工艺系统模块化生产项目”和“医药类纯水配液系统项目”旨在提升公司整体的生产效率和竞争力，项目投产后公司产品竞争力提升，公司行业地位提升，促进公司整体经营效益的提升，但由于项目产出与原有业务一致，且相关募投项目的实施主体与原有业务实施主体一致，募投项目产出较难与原有业务划分，在实际生产经营过中，相关募投项目单独产生的营业收入、成本、费用无法独立核算，无法单独核算效益。项目投产后，公司高纯工艺系统类业务保持良好盈利能力，营业收入和毛利贡献持续增长，2017年至2021年，公司主营业务收入中高纯工艺集成系统收入分别同比增长40.17%、82.57%、6.64%,、20.12%及24.86%，业务毛利分别同比增长44.98%、31.75%、2.56%、40.88%及36.46%。
附表2：
前次募集资金使用情况对照表（2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金）
单位：人民币万元
| 募集资金总额： | 42,999.99 | 已累计使用募集资金总额： | 34,221.09 | |||||||
| 变更用途的募集资金总额：- | 各年度使用募集资金总额： | 34,221.09 | ||||||||
| 变更用途的募集资金总额比例：- | 2019年度 | 27,455.87 | ||||||||
| 2020年度 | 183.40 | |||||||||
| 2021年度 | 5,492.50 | |||||||||
| 2022年1-3月 | 1,089.32 | |||||||||
| 投资项目 | 募集资金投资总额 | 截止日募集资金累计投资额 | 实际投资金额与募集后承诺投资金额的差额 | 项目达到预定可使用状态日期（或截止日项目完工程度） | ||||||
| 序号 | 承诺投资项目 | 实际投资项目 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | ||
| 1 | 支付本次交易并购整合费用 | 支付本次交易并购整合费用 | 2,340.00 | 2,340.00 | 1,258.40 | 2,340.00 | 2,340.00 | 1,258.40 | -1,081.60 | 不适用 |
| 2 | 支付收购波汇科技现金对价 | 支付收购波汇科技现金对价 | 24,801.23 | 24,801.23 | 24,801.23 | 24,801.23 | 24,801.23 | 24,801.23 | - | 不适用 |
| 3 | 用于波汇科技在建项目建设 | 用于波汇科技在建项目建设 | 15,858.77 | 15,858.76 | 7,072.14 | 15,858.77 | 15,858.76 | 7,072.14 | -8,786.62 | 2023年 |
| 承诺投资项目合计 | 43,000.00 | 42,999.99 | 33,131.77 | 43,000.00 | 42,999.99 | 33,131.77 | -9,868.22 | |||
| 剩余募集资金永久补充流动资金 | 不适用 | 不适用 | 1,089.32 | 不适用 | 不适用 | 1,089.32 | 1,089.32 | 不适用 | ||
注：募集资金投资项目先期投入及置换情况见详见本报告七（二）之说明；用闲置募集资金暂时补充流动资金情况详见本报告五（二）之说明。
附表3：
前次募集资金使用情况对照表（2019年公开发行可转换公司债券募集资金）
单位：人民币万元
| 募集资金净额： | 34,574.21 | 已累计使用募集资金总额： | 34,662.96 | |||||||
| 变更用途的募集资金总额：- | 各年度使用募集资金总额： | 34,662.96 | ||||||||
| 变更用途的募集资金总额比例：- | 2019年度 | 2,708.80 | ||||||||
| 2020年度 | 26,602.67 | |||||||||
| 2021年 | 5,351.49 | |||||||||
| 2022年1-3月 | - | |||||||||
| 投资项目 | 募集资金投资总额 | 截止日募集资金累计投资额 | 实际投资金额与募集后承诺投资金额的差额 | 项目达到预定可使用状态日期（或截止日项目完工程度） | ||||||
| 序号 | 承诺投资项目 | 实际投资项目 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | ||
| 1 | 半导体湿法设备制造项目 | 半导体湿法设备制造项目 | 15,600.00 | 14,574.21 | 14,647.72 | 15,600.00 | 14,574.21 | 14,647.72 | 73.52 | 2021年 |
| 2 | 晶圆再生项目 | 晶圆再生项目 | 20,000.00 | 20,000.00 | 20,015.23 | 20,000.00 | 20,000.00 | 20,015.23 | 15.23 | 2021年 |
| 合计 | 35,600.00 | 34,574.21 | 34,662.96 | 35,600.00 | 34,574.21 | 34,662.96 | 88.75 | |||
注1：募集资金投资项目先期投入及置换情况见详见本报告七（三）之说明。注2：合肥至汇（半导体湿法设备制造项目）预计在2022年下半年投入生产及研发，截至2022年3月31日尚未实现效益；合肥至微（晶圆再生项目）于2021年底完工，截至2022年3月31日，已初步进行有序试生产，暂时效益为负，预计在2022年度能够逐步实现量产。
附表4：
前次募集资金使用情况对照表（2020年非公开发行股票募集资金）
单位：人民币万元
| 募集资金净额： | 135,452.81 | 已累计使用募集资金总额： | 56,793.20 | |||||||
| 变更用途的募集资金总额：- | 各年度使用募集资金总额： | 56,793.20 | ||||||||
| 变更用途的募集资金总额比例：- | 2020年度 | 25,000.00 | ||||||||
| 2021年度 | 31,622.15 | |||||||||
| 2022年1-3月 | 171.05 | |||||||||
| 投资项目 | 募集资金投资总额 | 截止日募集资金累计投资额 | 实际投资金额与募集后承诺投资金额的差额 | 项目达到预定可使用状态日期（或截止日项目完工程度） | ||||||
| 序号 | 承诺投资项目 | 实际投资项目 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | 募集前承诺投资金额 | 募集后承诺投资金额 | 实际投资 金额 | ||
| 1 | 半导体湿法清洗设备扩产项目 | 半导体湿法清洗设备扩产项目 | 25,500.00 | 25,500.00 | 11,265.36 | 25,500.00 | 25,500.00 | 11,265.36 | -14,234.64 | 2024年 |
| 2 | 半导体晶圆再生二期项目 | 半导体晶圆再生二期项目 | 59,000.00 | 38,471.27 | - | 59,000.00 | 38,471.27 | - | -38,471.27 | 2024年 |
| 3 | 光电子材料及器件制造基地建设项目 | 光电子材料及器件制造基地建设项目 | 46,000.00 | 31,000.00 | 5,066.82 | 46,000.00 | 31,000.00 | 5,066.82 | -25,933.18 | 2024年 |
| 4 | 补充流动资金或偿还债务 | 补充流动资金或偿还债务 | 55,500.00 | 40,481.54 | 40,461.01 | 55,500.00 | 40,481.54 | 40,461.01 | -20.52 | 2021年 |
| 合计 | 186,000.00 | 135,452.81 | 56,793.20 | 186,000.00 | 135,452.81 | 56,793.20 | -78,659.61 | |||
注：用闲置募集资金暂时补充流动资金情况详见本报告五（四）之说明。