（截止至授予日）
一、限制性股票激励计划预留授予部分激励对象人员情况及授予情况
| 激励对象 | 获授限制性股票数量(万股) | 占授予限制性股票总数比例 | 占本激励计划公告日股本总额比例 |
| 董事会认为需要激励的其他人员（188人） | 103.989 | 12.9986% | 0.1944% |
| 合计 | 103.989 | 12.9986% | 0.1944% |
注：1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均未超过公司总股本的1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东大会时公司股本总额的20%；
2、本计划激励对象不包括独立董事、监事、单独或合计持有上市公司5%以上股份的股东、上市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。
二、董事会认为需要激励的其他人员情况
| 激励对象 职务 | 激励对象人数 | 获授限制性股票数量（万股） | 占授予限制性股票总数比例 | 占本激励计划公告日股本总额比例 |
| 中层管理人员 | 7 | 25.1110 | 3.1389% | 0.0469% |
| 技术骨干 | 83 | 42.0443 | 5.2555% | 0.0786% |
| 业务骨干 | 27 | 11.6580 | 1.4573% | 0.0218% |
| 专业人员 | 25 | 16.0302 | 2.0038% | 0.0300% |
| 优秀基层员工 | 46 | 9.1455 | 1.1432% | 0.0171% |
| 小计 | 188 | 103.9890 | 12.9987% | 0.1944% |
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2020年11月6日