海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
2020年度持续督导现场检查报告
根据《上海证券交易所上市公司持续督导工作指引》等有关法律、法规的规定，海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”、“海通证券”）作为正在履行中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”、“公司”）持续督导工作的保荐机构，对公司2020年度的规范运作情况进行了现场检查，现就现场检查的有关情况报告如下：
一、本次现场检查的基本情况
（一）保荐机构
海通证券股份有限公司
（二）保荐代表人
吴志君、姜诚君
（三）现场检查时间
2021年1月11日
（四）现场检查人员
吴志君、黄文豪
（五）现场检查手段
1、与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通；
2、查看公司生产经营场所；
3、查阅公司2020年度召开的历次三会文件；
4、查阅公司2020年度的定期报告、临时公告等信息披露文件；
5、查阅公司募集资金专户银行对账单、募集资金使用相关重大合同、凭证等资料；
6、查阅公司账簿和原始凭证以及商务合同等资料；
7、查阅公司2020年度建立或更新的有关内控制度文件；
8、查阅公司2020年度的关联交易、对外担保和重大对外投资有关资料；
9、检查公司及董监高所做承诺及履行情况。
二、对现场检查事项逐项发表的意见
（一）公司治理和内部控制情况
保荐机构查阅了公司的公司章程、董事会、监事会、股东大会的议事规则及其他内部控制制度、股东大会、董事会、监事会及专门委员会的会议文件等资料，并与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通。
保荐机构经核查后认为，2020年度，公司根据《公司法》、《证券法》等法律、法规、规范性文件要求，建立了符合上市公司要求的规范的法人治理结构，《公司章程》、《股东大会议事规则》、《董事会议事规则》、《监事会议事规则》能够被有效执行，公司董事、监事和高级管理人员按照有关法律法规以及上海证券交易所业务规则要求履行职责，公司治理机制有效地发挥了作用；公司内部机构设置和权责分配合理，对各部门及岗位的业务权限范围、审批程序、相应责任等规定明确合规，并能够有效实行；公司上市以来历次三会的召集、召开及表决程序合法合规，会议记录完整，会议资料保存完好，会议决议经出席会议的董事或监事签名确认。
（二）信息披露情况
保荐机构查阅了公司《信息披露制度》、公司已披露的公告以及相关资料，并与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通。
保荐机构经核查后认为，2020年度，公司制订了完整的信息披露制度，符合《上市公司信息披露管理办法》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相
关法规规定，公司履行了必要的信息披露义务，信息披露不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏。
（三）公司的独立性以及与控股股东、实际控制人及其他关联方资金往来情况
保荐机构查阅了《公司章程》、《关联交易管理制度》等相关制度文件，公司上市以来的三会文件及公告，查阅了公司与关联方交易、往来相关资料，并与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通。
保荐机构经核查后认为，2020年度，公司资产完整，人员、财务、机构、业务独立性良好，不存在控股股东、实际控制人及其他关联方违规占用公司资金的情形。
（四）募集资金使用情况
保荐机构查阅公司《募集资金管理办法》等相关制度文件、与募集资金使用相关的三会文件及公告，募集资金专户银行对账单、募集资金使用相关重大合同、凭证等资料，并与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通。
保荐机构经核查后认为，2020年度，公司已建立募集资金管理制度，并能按照制度的规定存放和使用募集资金。公司募集资金不存在被控股股东和实际控制人占用、不存在违规委托理财等情形，不存在未经履行审议程序擅自变更募集资金用途的情形，也不存在其他违反法律法规使用募集资金的情况。
（五）关联交易、对外担保、重大对外投资情况
保荐机构查阅了《公司章程》、《关联交易管理制度》、《对外担保管理制度》、《对外投资管理制度》等内部控制制度，公司上市以来的关联交易、对外担保和重大对外投资有关的内部决策文件、重大合同、公告等资料，并与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通。
保荐机构经核查后认为，2020年度，公司已对关联交易、对外担保和重大对外投资制定了健全的内部控制制度，公司在关联交易、对外担保、重大对外投资方面不存在重大的违法违规和损害中小股东利益的情况。
（六）经营状况
保荐机构查阅了公司2020年前三季度报告及相关财务、业务资料，同行业上市公司的财务报告等资料，并与公司相关董事、监事、高级管理人员及有关人员访谈沟通。2020年1-9月，公司保持良好经营态势，实现营业收入147,630.88万元，较上年同期增长21.26%；实现归属于上市公司股东的净利润27,693.42万元，较上年同期增长105.26%。
保荐机构经核查后认为，2020年度，公司经营状况良好，业务运转正常，主要业务的经营模式未发生重大变化。公司主要业务的市场前景、行业经营环境也未发生重大不利变化。
（七）保荐机构认为应于现场检查的其他事项
无。
三、提请上市公司注意的事项及建议
无。
四、是否存在《证券发行上市保荐业务管理办法》及上海证券交易所相关规定应当向中国证监会和上海证券交易所报告的事项
经核查，2020年度，公司不存在《证券发行上市保荐业务管理办法》及上海证券交易所相关规定应当向中国证监会和上海证券交易所报告的事项。
五、上市公司及其他中介机构的配合情况
保荐机构本次现场检查过程中，公司及其他中介机构给予了积极的配合，为本次现场检查提供了必要的支持。
六、本次现场检查的结论
经现场检查，保荐机构认为：2020年度，中微公司治理规范，建立了较为完善的内控制度且得到有效执行；信息披露执行情况良好；在资产、人员、财务、机构、业务等方面都保持了独立性，不存在关联方违规占用公司资金的情形；严格遵守募集资金管理制度，不存在违规使用募集资金的情形；不存在违规关联交易、对外担保及重大对外投资等情形；经营模式、业务结构未发生重大不利变化，
经营状况良好。 （以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度持续督导现场检查报告》之签字盖章页）
| 保荐代表人签名： | |||
| 吴志君 | 姜诚君 |
海通证券股份有限公司
年 月 日