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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
已受理 已问询 上市委会议 注册 已发行
2019-07-122019-08-092019-10-242019-10-28
项目基本信息
公司全称 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 受理日期 2019-07-12
公司简称 芯源微 融资金额(亿元) 3.78
审核状态 注册生效 更新日期 2019-11-19
保荐机构 国信证券股份有限公司 保荐代表人 李大林,谭杰伦
会计师事务所 容诚会计师事务所(特殊普通合伙) 签字会计师 董博佳,冯颖,吴宇
律师事务所 北京市中伦律师事务所 签字律师 赵海洋,魏海涛,贾琛
评估机构 同致信德(北京)资产评估有限公司 签字评估师 韩旭,宋皖阳
主营业务 半导体专用设备的研发、生产和销售。
发行前总股本 6300万股 拟发行后总股本 8400万股
拟发行数量 2100万股 占发行后总股本 25%
信息披露
序号 文件名称 更新时间
1 芯源微:关于参加2024年半年度半导体设备及材料集体业绩说明会的公告 2024-09-05
2 芯源微:关于持股5%以上股东部分股份质押的公告 2024-08-31
3 芯源微:第二届监事会第二十三次会议决议公告 2024-08-30
4 芯源微:2024年度“提质增效重回报”行动方案的半年度评估报告 2024-08-30
5 芯源微:2024年半年度报告 2024-08-30
6 芯源微:2024年半年度报告摘要 2024-08-30
7 芯源微:2024年半年度募集资金存放与使用情况专项报告 2024-08-30
8 芯源微:关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期第一批次归属结果暨股份上市的公告 2024-08-30
9 芯源微:关于订单和战略新品进展情况的自愿性披露公告 2024-08-30
10 芯源微:关于归还暂时用于补充流动资金的闲置募集资金的公告 2024-08-21
11 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2023年限制性股票激励计划授予价格及授予数量调整、首次授予部分第一个归属期归属条件成就暨部分限制性股票作废事项之法律意见书 2024-08-16
12 芯源微:监事会关于公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属名单的核查意见 2024-08-16
13 芯源微:关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格及授予数量的公告 2024-08-16
14 芯源微:关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的公告 2024-08-16
15 芯源微:第二届监事会第二十二次会议决议公告 2024-08-16
16 芯源微:第二届董事会第二十四次会议决议公告 2024-08-16
17 芯源微:关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的公告 2024-08-16
18 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2024年第一次临时股东大会之法律意见书 2024-07-31
19 芯源微:2024年第一次临时股东大会决议公告 2024-07-31
20 芯源微:中信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司股东向特定机构投资者询价转让股份的核查报告 2024-07-27
21 芯源微:股东询价转让结果报告书 2024-07-27
22 芯源微:股东询价转让定价情况提示性公告 2024-07-24
23 芯源微:中信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司股东向特定机构投资者询价转让股份相关资格的核查意见 2024-07-23
24 芯源微:股东询价转让计划书 2024-07-23
25 芯源微:2024年第一次临时股东大会会议资料 2024-07-23
26 芯源微:关于变更公司董事的公告 2024-07-12
27 芯源微:关于召开2024年第一次临时股东大会的通知 2024-07-12
28 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2023年度差异化权益分派事项的核查意见 2024-07-11
29 芯源微:2023年年度权益分派实施公告 2024-07-11
30 芯源微:关于调整2023年年度利润分配现金分红总额及资本公积转增股本总额的公告 2024-07-03
31 芯源微:关于股份回购实施结果的公告 2024-07-03
32 芯源微:关于获得政府补助的公告 2024-06-29
33 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2023年年度股东大会之法律意见书 2024-06-18
34 芯源微:2023年年度股东大会决议公告 2024-06-18
35 芯源微:董监高集中竞价减持股份计划公告 2024-06-17
36 芯源微:2023年年度股东大会会议资料 2024-06-08
37 芯源微:关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告 2024-06-04
38 芯源微:关于召开2023年度暨2024年第一季度业绩说明会的公告 2024-06-01
39 芯源微:关于2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期第一批次、预留授予部分第二个归属期归属结果暨股份上市的公告 2024-05-30
40 芯源微:关于召开2023年年度股东大会的通知 2024-05-25
41 芯源微:关于向激励对象授予预留部分限制性股票的公告 2024-05-22
42 芯源微:第二届董事会第二十二次会议决议公告 2024-05-22
43 芯源微:监事会关于2023年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单的核查意见(截止授予日) 2024-05-22
44 芯源微:第二届监事会第二十一次会议决议公告 2024-05-22
45 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2023年限制性股票激励计划预留部分授予相关事项之法律意见书 2024-05-22
46 芯源微:上海荣正企业咨询服务(集团)股份有限公司关于芯源微2023年限制性股票激励计划预留授予事项之独立财务顾问报告 2024-05-22
47 芯源微:2023年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单(截止授予日) 2024-05-22
48 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2023年度持续督导跟踪报告 2024-05-22
49 芯源微:关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告 2024-05-07
50 芯源微:关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的公告 2024-04-30
51 芯源微:关于2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期符合归属条件的公告 2024-04-30
52 芯源微:监事会关于公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期、2021年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期归属名单的核查意见 2024-04-30
53 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2021年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期及预留授予部分第二个归属期归属条件成就暨部分限制性股票作废事项的法律意见书 2024-04-30
54 芯源微:关于2021年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的公告 2024-04-30
55 芯源微:第二届董事会第二十一次会议决议公告 2024-04-30
56 芯源微:第二届监事会第二十次会议决议公告 2024-04-30
57 芯源微:内部控制审计报告 2024-04-27
58 芯源微:关于2023年年度利润分配及资本公积转增股本方案的公告 2024-04-27
59 芯源微:《募集资金管理制度》 2024-04-27
60 芯源微:2024年度“提质增效重回报”行动方案 2024-04-27
61 芯源微:《董事会秘书工作细则》 2024-04-27
62 芯源微:2024年第一季度报告 2024-04-27
63 芯源微:《董事会议事规则》 2024-04-27
64 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分超募资金永久补充流动资金的专项核查意见 2024-04-27
65 芯源微:2023年度会计师事务所履职情况评估报告 2024-04-27
66 芯源微:关于使用部分超募资金永久补充流动资金的公告 2024-04-27
67 芯源微:《董事会薪酬与考核委员会工作细则》 2024-04-27
68 芯源微:2023年度独立董事述职报告-钟宇 2024-04-27
69 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微预计2024年度日常关联交易额度的核查意见 2024-04-27
70 芯源微:《信息披露管理办法》 2024-04-27
71 芯源微:2023年度独立董事述职报告-宋雷 2024-04-27
72 芯源微:关于变更公司注册资本、修订《公司章程》、修订及制定部分内部治理制度的公告 2024-04-27
73 芯源微:《董事会审计委员会工作细则》 2024-04-27
74 芯源微:董事会关于独立董事2023年度独立性自查情况的专项意见 2024-04-27
75 芯源微:2023年度独立董事述职报告-朱煜 2024-04-27
76 芯源微:关于购买董监高责任险的公告 2024-04-27
77 芯源微:《独立董事专门会议制度》 2024-04-27
78 芯源微:2023年度审计报告 2024-04-27
79 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理之专项核査意见 2024-04-27
80 芯源微:2023年年度报告 2024-04-27
81 芯源微:《关联交易管理办法》 2024-04-27
82 芯源微:《利润分配管理制度》 2024-04-27
83 芯源微:《会计师事务所选聘制度》 2024-04-27
84 芯源微:第二届监事会第十九次会议决议公告 2024-04-27
85 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2023年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见 2024-04-27
86 芯源微:《独立董事制度》 2024-04-27
87 芯源微:董事会审计委员会2023年度履职报告 2024-04-27
88 芯源微:募集资金存放与实际使用情况鉴证报告 2024-04-27
89 芯源微:关于续聘2024年度审计机构的公告 2024-04-27
90 芯源微:董事会审计委员会对会计师事务所履行监督职责情况报告 2024-04-27
91 芯源微:2023年度募集资金存放与使用情况专项报告 2024-04-27
92 芯源微:关于芯源微非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表的专项审计报告 2024-04-27
93 芯源微:2023年内部控制评价报告 2024-04-27
94 芯源微:《监事会议事规则》 2024-04-27
95 芯源微:《对外担保制度》 2024-04-27
96 芯源微:2023年年度报告摘要 2024-04-27
97 芯源微:章程(2024年4月) 2024-04-27
98 芯源微:关于向银行申请综合授信额度的公告 2024-04-27
99 芯源微:关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告 2024-04-27
100 芯源微:第二届董事会独立董事专门会议第一次会议决议 2024-04-27
101 芯源微:关于预计2024年度日常关联交易额度的公告 2024-04-27
102 芯源微:《股东大会议事规则》 2024-04-27
103 芯源微:《独立董事年报工作制度》 2024-04-27
104 芯源微:《投资者关系管理办法》 2024-04-27
105 芯源微:第二届董事会第二十次会议决议公告 2024-04-27
106 芯源微:《董事会提名委员会工作细则》 2024-04-27
107 芯源微:关于会计政策变更的公告 2024-04-27
108 芯源微:关于自然人股东及核心员工增持进展暨落实“提质增效重回报”行动方案的公告 2024-04-13
109 芯源微:关于以集中竞价交易方式首次回购股份暨回购股份进展的公告 2024-04-02
110 芯源微:关于变更签字注册会计师的公告 2024-03-20
111 芯源微:关于自愿披露公司发布新产品的公告 2024-03-19
112 芯源微:关于自然人股东及核心员工增持进展暨落实“提质增效重回报”行动方案的公告 2024-03-15
113 芯源微:关于以集中竞价交易方式回购股份的回购报告书暨落实“提质增效重回报”行动方案的公告 2024-03-01
114 芯源微:关于回购股份事项前十名股东和前十名无限售条件股东持股情况的公告 2024-02-28
115 芯源微:2023年度业绩快报公告 2024-02-27
116 芯源微:第二届董事会第十九次会议决议公告 2024-02-22
117 芯源微:第二届监事会第十八次会议决议公告 2024-02-22
118 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分超募资金回购股份的核查意见 2024-02-22
119 芯源微:关于以集中竞价交易方式回购股份方案暨落实“提质增效重回报”行动方案的公告 2024-02-22
120 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十九次会议相关议案的独立意见 2024-02-22
121 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2023年度持续督导工作现场检查报告 2024-02-06
122 芯源微:关于提议公司回购、自然人股东及核心员工增持暨公司“提质增效重回报”行动方案的公告 2024-02-01
123 芯源微:中信证券股份有限公司关于芯源微股东向特定机构投资者询价转让股份的核查报告 2024-01-06
124 芯源微:股东询价转让结果报告书暨公司第一大股东变更的提示性公告 2024-01-06
125 芯源微:详式权益变动报告书(科发实业) 2024-01-06
126 芯源微:股东询价转让定价情况提示性公告 2024-01-03
127 芯源微:中信证券股份有限公司关于芯源微股东向特定机构投资者询价转让股份相关资格的核查意见 2023-12-30
128 芯源微:股东询价转让计划书 2023-12-30
129 芯源微:关于2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期第三批次归属结果暨股份上市的公告 2023-12-09
130 芯源微:关于召开2023年第三季度业绩说明会的公告 2023-11-28
131 芯源微:关于全资子公司变更注册地址、注册资本及经营范围的公告 2023-11-15
132 芯源微:关于获得政府补助的公告 2023-10-27
133 芯源微:关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期符合归属条件的公告 2023-09-28
134 芯源微:第二届监事会第十六次会议决议公告 2023-09-28
135 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十七次会议相关议案的独立意见 2023-09-28
136 芯源微:监事会关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期归属名单的核查意见 2023-09-28
137 芯源微:第二届董事会第十七次会议决议公告 2023-09-28
138 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2020年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期归属条件成就的法律意见书 2023-09-28
139 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2023年半年度持续督导跟踪报告 2023-09-13
140 芯源微:关于召开2023年半年度业绩说明会的公告 2023-09-13
141 芯源微:2023年半年度报告摘要 2023-08-29
142 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见 2023-08-29
143 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2020年限制性股票激励计划、2021年限制性股票激励计划授予价格及授予数量调整事项的法律意见书 2023-08-29
144 芯源微:关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的公告 2023-08-29
145 芯源微:2023年半年度募集资金存放与使用情况专项报告 2023-08-29
146 芯源微:2023年半年度报告 2023-08-29
147 芯源微:关于调整2020年、2021年限制性股票激励计划授予价格及授予数量的公告 2023-08-29
148 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十六次会议相关议案的独立意见 2023-08-29
149 芯源微:第二届董事会第十六次会议决议公告 2023-08-29
150 芯源微:第二届监事会第十五次会议决议公告 2023-08-29
151 芯源微:部分监事、高级管理人员集中竞价减持计划时间届满暨减持股份结果公告 2023-08-26
152 芯源微:关于归还暂时用于补充流动资金的闲置募集资金的公告 2023-08-25
153 芯源微:关于向激励对象首次授予限制性股票的公告 2023-08-15
154 芯源微:第二届董事会第十五次会议决议公告 2023-08-15
155 芯源微:上海荣正企业咨询服务(集团)股份有限公司关于芯源微2023年限制性股票激励计划调整及首次授予事项之独立财务顾问报告 2023-08-15
156 芯源微:第二届监事会第十四次会议决议公告 2023-08-15
157 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2023年第一次临时股东大会之法律意见书 2023-08-15
158 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十五次会议相关议案的独立意见 2023-08-15
159 芯源微:2023年第一次临时股东大会决议公告 2023-08-15
160 芯源微:2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单(截止授予日) 2023-08-15
161 芯源微:关于2023年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告 2023-08-15
162 芯源微:监事会关于2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的核查意见(截止授予日) 2023-08-15
163 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2023年限制性股票激励计划调整及首次授予相关事项之法律意见书 2023-08-15
164 芯源微:关于调整公司2023年限制性股票激励计划相关事项的公告 2023-08-15
165 芯源微:监事会关于公司2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的审核意见及公示情况说明 2023-08-09
166 芯源微:2023年第一次临时股东大会会议资料 2023-08-04
167 芯源微:2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法 2023-07-29
168 芯源微:北京市邦盛律师事务所关于芯源微2023年限制性股票激励计划(草案)之法律意见书 2023-07-29
169 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用募集资金向全资子公司增资实施募投项目的核查意见 2023-07-29
170 芯源微:关于独立董事公开征集委托投票权的公告 2023-07-29
171 芯源微:关于使用募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的公告 2023-07-29
172 芯源微:关于召开2023年第一次临时股东大会的通知 2023-07-29
173 芯源微:监事会关于公司2023年限制性股票激励计划(草案)的核查意见 2023-07-29
174 芯源微:上海荣正企业咨询服务(集团)股份有限公司关于芯源微2023年限制性股票激励计划(草案)之独立财务顾问报告 2023-07-29
175 芯源微:2023年限制性股票激励计划(草案)摘要公告 2023-07-29
176 芯源微:2023年限制性股票激励计划(草案) 2023-07-29
177 芯源微:第二届监事会第十三次会议决议公告 2023-07-29
178 芯源微:第二届董事会第十四次会议决议公告 2023-07-29
179 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十四次会议相关议案的独立意见 2023-07-29
180 芯源微:2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单 2023-07-29
181 芯源微:关于商业秘密维权进展暨收到刑事判决书的公告 2023-06-21
182 芯源微:第二届监事会第十二次会议决议公告 2023-06-10
183 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理之专项核査意见 2023-06-10
184 芯源微:关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告 2023-06-10
185 芯源微:关于聘任公司高级管理人员、变更公司董事会秘书和证券事务代表的公告 2023-06-10
186 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十三次会议相关议案的独立意见 2023-06-10
187 芯源微:2022年年度权益分派实施公告 2023-06-09
188 芯源微:部分高级管理人员集中竞价减持股份结果公告 2023-06-07
189 芯源微:关于持股5%以上股东权益变动比例超过1%的提示性公告 2023-06-07
190 芯源微:关于持股5%以上股东累计股份变动达到5%的提示性公告 2023-06-01
191 芯源微:简式权益变动报告书 2023-06-01
192 芯源微:北京天驰君泰律师事务所关于芯源微2022年年度股东大会的法律意见书 2023-05-30
193 芯源微:部分董事、高级管理人员集中竞价减持股份结果公告 2023-05-30
194 芯源微:2022年年度股东大会决议公告 2023-05-30
195 芯源微:部分监事、高级管理人员集中竞价减持时间过半暨减持进展公告 2023-05-24
196 芯源微:2022年年度股东大会会议资料 2023-05-22
197 芯源微:关于2020年限制性股票预留授予部分第二个归属期、2021年限制性股票首次授予部分第二个归属期第一批次、2021年限制性股票预留授予部分第一个归属期归属结果暨股份上市公告 2023-05-20
198 芯源微:关于召开2022年年度股东大会的通知 2023-05-09
199 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微首次公开发行股票并在科创板上市之持续督导保荐总结报告书 2023-04-29
200 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2022年度持续督导跟踪报告 2023-04-28
201 芯源微:关于2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的公告 2023-04-28
202 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期归属条件成就暨部分限制性股票作废事项的法律意见书 2023-04-28
203 芯源微:监事会关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期、2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期、2021年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属名单的核查意见 2023-04-28
204 芯源微:第二届监事会第十一次会议决议公告 2023-04-28
205 芯源微:关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的公告 2023-04-28
206 芯源微:关于2021年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的公告 2023-04-28
207 芯源微:第二届董事会第十二次会议决议公告 2023-04-28
208 芯源微:部分董事、高级管理人员集中竞价减持股份结果公告 2023-04-28
209 芯源微:关于2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的公告 2023-04-28
210 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十二次会议相关议案的独立意见 2023-04-28
211 芯源微:部分董事、高级管理人员集中竞价减持股份进展公告 2023-04-28
212 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期归属条件成就事项的法律意见书 2023-04-28
213 芯源微:2023年第一季度报告 2023-04-26
214 芯源微:关于召开2022年度暨2023年第一季度业绩说明会的公告 2023-04-22
215 芯源微:2022年年度报告摘要 2023-04-18
216 芯源微:内部控制审计报告 2023-04-18
217 芯源微:募集资金年度存放与使用情况鉴证报告 2023-04-18
218 芯源微:2022年内部控制评价报告 2023-04-18
219 芯源微:2022年年度报告 2023-04-18
220 芯源微:董事会审计委员会2022年度履职情况报告 2023-04-18
221 芯源微:关于2022年年度利润分配及资本公积转增股本方案的公告 2023-04-18
222 芯源微:关于预计2023年度日常关联交易额度的公告 2023-04-18
223 芯源微:关于芯源微非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表的专项审计报告 2023-04-18
224 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微预计2023年度日常关联交易额度的核查意见 2023-04-18
225 芯源微:关于变更部分募投项目实施地点的公告 2023-04-18
226 芯源微:第二届监事会第九次会议决议公告 2023-04-18
227 芯源微:2022年度募集资金存放与使用情况专项报告 2023-04-18
228 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微变更部分募投项目实施地点的专项核查意见 2023-04-18
229 芯源微:关于续聘2023年度审计机构的公告 2023-04-18
230 芯源微:2022年度独立董事述职报告 2023-04-18
231 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十次会议相关议案的事前认可意见 2023-04-18
232 芯源微:关于会计政策变更的公告 2023-04-18
233 芯源微:独立董事对公司2022年对外担保情况的专项说明和独立意见 2023-04-18
234 芯源微:2022年度审计报告 2023-04-18
235 芯源微:中国际金融股份有限公司关于芯源微2022年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见 2023-04-18
236 芯源微:独立董事关于第二届董事会第十次会议相关议案的独立意见 2023-04-18
237 芯源微:关于5%以上股东集中竞价减持股份结果公告 2023-04-04
238 芯源微:关于向银行申请综合授信额度的公告 2023-03-22
239 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2022年度持续督导现场检查报告 2023-03-20
240 芯源微:部分高级管理人员集中竞价减持股份结果公告 2023-03-16
241 芯源微:关于5%以上股东集中竞价减持股份进展公告 2023-03-16
242 芯源微:关于公司技术中心被认定为国家企业技术中心的自愿性披露公告 2023-03-13
243 芯源微:部分高级管理人员集中竞价减持股份进展公告 2023-03-09
244 芯源微:关于5%以上股东大宗交易减持股份结果公告 2023-03-02
245 芯源微:2022年度业绩快报公告 2023-02-22
246 芯源微:关于5%以上股东减持股份计划公告 2023-02-18
247 芯源微:董监高减持股份计划公告 2023-02-02
248 芯源微:关于5%以上股东减持股份结果公告 2023-02-02
249 芯源微:关于商业秘密维权进展暨收到刑事判决书的公告 2023-01-31
250 芯源微:2022年年度业绩预增公告 2023-01-20
251 芯源微:关于5%以上股东大宗交易减持股份计划公告 2023-01-09
252 芯源微:关于国有股权无偿划转完成过户登记的公告 2023-01-05
253 芯源微:关于股东修改《股权划转协议》的公告 2022-12-24
254 芯源微:股东询价转让结果报告书暨持股5%以上股东减持股份达到1%的提示性公告 2022-12-24
255 芯源微:中信证券股份有限公司关于芯源微股东向特定机构投资者询价转让股份的核查报告 2022-12-24
256 芯源微:股东询价转让定价情况提示性公告 2022-12-21
257 芯源微:中信证券股份有限公司关于芯源微股东向特定机构投资者询价转让股份相关资格的核查意见 2022-12-20
258 芯源微:股东询价转让计划书 2022-12-20
259 芯源微:关于召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会的公告 2022-12-16
260 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微向特定对象发行限售股上市流通的核查意见 2022-12-16
261 芯源微:向特定对象发行限售股上市流通公告 2022-12-16
262 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见 2022-12-09
263 芯源微:首次公开发行部分限售股上市流通公告 2022-12-09
264 芯源微:关于向银行申请抵押贷款的公告 2022-12-06
265 芯源微:章程(2022年12月) 2022-12-06
266 芯源微:关于变更公司注册资本、修订《公司章程》并办理工商变更登记的公告 2022-12-06
267 芯源微:关于向银行申请质押贷款的公告 2022-12-06
268 芯源微:关于召开2022年第三季度业绩说明会的公告 2022-11-30
269 芯源微:关于《简式权益变动报告书》(中科天盛)的更正公告 2022-11-22
270 芯源微:关于持股5%以上股东权益变动暨无偿划转股份的提示性公告 2022-11-19
271 芯源微:简式权益变动报告书(中科天盛) 2022-11-19
272 芯源微:简式权益变动报告书(沈自所) 2022-11-19
273 芯源微:关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期归属结果暨股份上市的公告 2022-11-04
274 芯源微:股东减持股份结果公告 2022-11-02
275 芯源微:关于获得政府补助的公告 2022-11-01
276 芯源微:关于会计政策变更的公告 2022-10-29
277 芯源微:关于收到商业秘密维权赔偿金的公告 2022-10-27
278 芯源微:关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的公告 2022-10-14
279 芯源微:关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的公告 2022-10-14
280 芯源微:监事会关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期归属名单的核查意见 2022-10-14
281 芯源微:第二届董事会第六次会议决议公告 2022-10-14
282 芯源微:关于增加2022年度日常关联交易额度的公告 2022-10-14
283 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微增加2022年度日常关联交易额度的核查意见 2022-10-14
284 芯源微:独立董事关于第二届董事会第六次会议相关议案的独立意见 2022-10-14
285 芯源微:独立董事关于第二届董事会第六次会议相关议案的事前认可意见 2022-10-14
286 芯源微:北京中伦律师事务所关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期归属条件成就暨部分限制性股票作废事项的法律意见书 2022-10-14
287 芯源微:第二届监事会第六次会议决议公告 2022-10-14
288 芯源微:关于获得政府补助的公告 2022-10-10
289 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2022年半年度持续督导跟踪报告 2022-09-09
290 芯源微:芯源微关于参加辽宁辖区上市公司投资者网上集体接待日的公告 2022-09-09
291 芯源微:关于召开2022年半年度业绩说明会的公告 2022-08-27
292 芯源微:2022年半年度报告摘要 2022-08-26
293 芯源微:第二届监事会第五次会议决议公告 2022-08-26
294 芯源微:容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于芯源微以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告 2022-08-26
295 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的核查意见 2022-08-26
296 芯源微:独立董事关于第二届董事会第五次会议相关议案的独立意见 2022-08-26
297 芯源微:关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的公告 2022-08-26
298 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见 2022-08-26
299 芯源微:关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的公告 2022-08-26
300 芯源微:2022年半年度募集资金存放与使用情况专项报告 2022-08-26
301 芯源微:2022年半年度报告 2022-08-26
302 芯源微:关于签订募集资金专户存储四方监管协议的公告 2022-07-29
303 芯源微:股东减持股份进展公告 2022-07-23
304 芯源微:芯源微关于股东权益变动的提示性公告 2022-07-07
305 芯源微:芯源微简式权益变动报告书 2022-07-07
306 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2022-07-06
307 芯源微:芯源微关于归还暂时用于补充流动资金的闲置募集资金的公告 2022-06-30
308 芯源微:芯源微关于变更公司注册资本、修订《公司章程》并办理工商变更登记的公告 2022-06-28
309 芯源微:沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程(2022年6月) 2022-06-28
310 芯源微:芯源微关于使用募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的公告 2022-06-28
311 芯源微:芯源微独立董事关于第二届董事会第四次会议相关议案的独立意见 2022-06-28
312 芯源微:芯源微第二届监事会第四次会议决议公告 2022-06-28
313 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司使用募集资金向全资子公司增资实施募投项目的核查意见 2022-06-28
314 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票的上市保荐书 2022-06-24
315 芯源微:沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票上市公告书 2022-06-24
316 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行股票发行结果暨股本变动公告 2022-06-24
317 芯源微:芯源微关于持股5%以上股东权益变动的提示性公告 2022-06-24
318 芯源微:芯源微股东大宗交易减持股份结果公告 2022-06-21
319 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理之专项核査意见 2022-06-17
320 芯源微:芯源微关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告 2022-06-17
321 芯源微:芯源微独立董事关于第二届董事会第三次会议相关议案的独立意见 2022-06-17
322 芯源微:芯源微第二届监事会第三次会议决议公告 2022-06-17
323 芯源微:芯源微关于签署募集资金专户存储三方监管协议的公告 2022-06-17
324 芯源微:容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于芯源微2021年度向特定对象发行A股股票认购资金的验资报告 2022-06-14
325 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票发行情况报告书 2022-06-14
326 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2021年度向特定对象发行A股股票发行过程和认购对象合规性的报告 2022-06-14
327 芯源微:容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于芯源微2021年度向特定对象发行A股股票的验资报告 2022-06-14
328 芯源微:芯源微关于向特定对象发行股票发行情况的提示性公告 2022-06-14
329 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于芯源微2021年度向特定对象发行A股股票发行过程及认购对象合规性之法律意见书 2022-06-14
330 芯源微:芯源微关于5%以上股东减持股份计划公告 2022-06-07
331 芯源微:芯源微关于2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期、2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属结果暨股份上市的公告 2022-06-01
332 芯源微:芯源微关于变更投资者联系电话的公告 2022-05-28
333 芯源微电子:芯源微关于召开2021年度暨2022年第一季度业绩说明会的公告 2022-05-11
334 芯源微电子:芯源微第二届监事会第二次会议决议公告 2022-04-28
335 芯源微电子:芯源微关于2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的公告 2022-04-28
336 芯源微电子:芯源微监事会关于公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属名单的核查意见 2022-04-28
337 芯源微电子:北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年限制性股票激励计划授予价格调整、首次授予部分第一个归属期归属条件成就暨部分限制性股票作废事项的法律意见书 2022-04-28
338 芯源微电子:芯源微2022年第一季度报告 2022-04-28
339 芯源微电子:芯源微第二届董事会第二次会议决议公告 2022-04-28
340 芯源微电子:芯源微关于2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的公告 2022-04-28
341 芯源微电子:芯源微监事会关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属名单的核查意见 2022-04-28
342 芯源微电子:芯源微独立董事关于第二届董事会第二次会议相关议案的独立意见 2022-04-28
343 芯源微电子:北京市中伦律师事务所关于芯源微2020年限制性股票激励计划授予价格调整、预留授予部分第一个归属期归属条件成就事项的法律意见书 2022-04-28
344 芯源微电子:芯源微关于调整2020年、2021年限制性股票激励计划授予价格并作废处理部分限制性股票的公告 2022-04-28
345 芯源微:芯源微2021年年度权益分派实施公告 2022-04-18
346 芯源微:芯源微关于会计政策变更的公告 2022-04-08
347 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2022-04-01
348 芯源微:芯源微2021年年度股东大会决议公告 2022-03-31
349 芯源微:芯源微第二届监事会第一次会议决议公告 2022-03-31
350 芯源微:芯源微关于完成董事会、监事会换届选举及聘任高级管理人员、证券事务代表的公告 2022-03-31
351 芯源微:芯源微独立董事关于第二届董事会第一次会议相关议案的独立意见 2022-03-31
352 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于芯源微2021年年度股东大会的法律意见书 2022-03-31
353 芯源微:芯源微关于调整公司核心技术人员的公告 2022-03-31
354 芯源微:中国际金融股份有限公司关于芯源微调整核心技术人员的核查意见 2022-03-31
355 芯源微:芯源微关于选举第二届监事会职工代表监事的公告 2022-03-31
356 芯源微:芯源微关于向特定对象发行股票申请获得中国证券监督管理委员会同意注册批复的公告 2022-03-23
357 芯源微:芯源微2021年年度股东大会会议资料 2022-03-23
358 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2021年度持续督导跟踪报告 2022-03-19
359 芯源微:芯源微关于向特定对象发行股票申请文件募集说明书等相关文件更新财务数据的提示性公告 2022-03-15
360 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票募集说明书(注册稿) 2022-03-15
361 芯源微:芯源微2021年年度报告摘要 2022-03-10
362 芯源微:芯源微2021年年度报告 2022-03-10
363 芯源微:芯源微独立董事对公司2021年对外担保情况的专项说明和独立意见 2022-03-10
364 芯源微:芯源微2021年度审计报告 2022-03-10
365 芯源微:关于芯源微非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表的专项审计报告 2022-03-10
366 芯源微:芯源微2021年度独立董事述职报告 2022-03-10
367 芯源微:芯源微2021年内部控制评价报告 2022-03-10
368 芯源微:芯源微募集资金年度存放与使用情况鉴证报告 2022-03-10
369 芯源微:芯源微内部控制审计报告 2022-03-10
370 芯源微:中国际金融股份有限公司关于芯源微2021年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见 2022-03-10
371 芯源微:芯源微董事会审计委员会2021年度履职情况报告 2022-03-10
372 芯源微:芯源微2021年度募集资金存放与使用情况专项报告 2022-03-10
373 芯源微:芯源微关于变更签字注册会计师的公告 2022-03-10
374 芯源微:芯源微关于会计政策变更的公告 2022-03-10
375 芯源微:芯源微2021年年度利润分配预案公告 2022-03-10
376 芯源微:芯源微关于董事会、监事会换届选举的公 2022-03-10
377 芯源微:芯源微第一届监事会第二十二次会议决议公告 2022-03-10
378 芯源微:芯源微关于向银行申请综合授信额度的公告 2022-03-10
379 芯源微:芯源微关于续聘2022年度审计机构的公告 2022-03-10
380 芯源微:芯源微关于预计2022年度日常关联交易额度的公告 2022-03-10
381 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第三十二次会议相关议案的事前认可意见 2022-03-10
382 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第三十二次会议相关议案的独立意见 2022-03-10
383 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司预计2022年度日常关联交易额度的核查意见 2022-03-10
384 芯源微:芯源微关于召开2021年年度股东大会的通知 2022-03-10
385 芯源微:芯源微股东减持股份进展公告 2022-03-09
386 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于芯源微2021年度持续督导现场检查报告 2022-03-04
387 芯源微:芯源微2021年度业绩快报公告 2022-02-23
388 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票之补充法律意见书 2022-02-07
389 芯源微:芯源微关于向特定对象发行股票发行注册环节反馈意见落实函回复的公告 2022-02-07
390 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行A股股票发行注册环节反馈意见落实函的回复报告 2022-02-07
391 芯源微:芯源微向特定对象发行股票注册环节反馈意见落实函 2022-01-29
392 芯源微:芯源微关于收到发行注册环节反馈意见落实函的公告 2022-01-29
393 芯源微:芯源微2021年年度业绩预增公告 2022-01-25
394 芯源微:发行人最近一年的财务报告及其审计报告以及最近一期的财务报告 2022-01-13
395 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票的上市保荐书 2022-01-13
396 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票募集说明书(注册稿) 2022-01-13
397 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票的发行保荐书 2022-01-13
398 芯源微:芯源微关于向特定对象发行A股股票申请文件修订说明的公告 2022-01-13
399 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票之法律意见书 2022-01-13
400 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票审核意见的通知 2022-01-08
401 芯源微:芯源微关于收到向特定对象发行股票审核意见的通知公告 2022-01-08
402 芯源微:芯源微第一届董事会第三十一次会议决议公告 2022-01-07
403 芯源微:芯源微关于调整2021年限制性股票激励计划授予价格的公告 2022-01-07
404 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第三十一次会议相关议案的独立意见 2022-01-07
405 芯源微:芯源微监事会关于2021年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单的核查意见(截止授予日) 2022-01-07
406 芯源微:《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程(2022年1月)》 2022-01-07
407 芯源微:芯源微第一届监事会第二十一次会议决议公告 2022-01-07
408 芯源微:芯源微2021年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单(截止授予日) 2022-01-07
409 芯源微:北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年限制性股票激励计划调整授予价格及向激励对象授予预留限制性股票的法律意见书 2022-01-07
410 芯源微:上海荣正投资咨询股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年限制性股票激励计划调整及预留授予事项之独立财务顾问报告 2022-01-07
411 芯源微:芯源微关于变更公司注册资本、修订《公司章程》并办理工商变更登记的公告 2022-01-07
412 芯源微:芯源微关于向激励对象授予预留部分限制性股票的公告 2022-01-07
413 芯源微:芯源微高级管理人员集中竞价减持股份结果公告 2022-01-04
414 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票申请文件第二轮审核问询函的回复 2021-12-31
415 芯源微:容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的第二轮审核问询函之回复专项核查意见 2021-12-31
416 芯源微:芯源微关于回复《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的第二轮审核问询函》的公告 2021-12-31
417 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2021-12-29
418 芯源微:芯源微关于向特定对象发行A股股票申请收到上海证券交易所第二轮审核问询函的公告 2021-12-16
419 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的第二轮审核问询函 2021-12-16
420 芯源微:芯源微股东大宗交易减持股份计划公告 2021-12-16
421 芯源微:中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行战略配售限售股上市流通的核查意见 2021-12-09
422 芯源微:芯源微首次公开发行战略配售股上市流通公告 2021-12-09
423 芯源微:芯源微关于参加辽宁辖区上市公司投资者网上集体接待日的公告 2021-12-03
424 芯源微:芯源微关于更新《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》回复及募集说明书的公告 2021-11-20
425 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票募集说明书(修订稿) 2021-11-20
426 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票申请文件审核问询函的回复(修订稿) 2021-11-20
427 芯源微:芯源微股票交易异常波动公告 2021-11-12
428 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票募集说明书(修订稿) 2021-11-04
429 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度向特定对象发行A股股票申请文件审核问询函的回复 2021-11-04
430 芯源微:容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函之回复专项核查意见 2021-11-04
431 芯源微:芯源微关于向特定对象发行A股股票申请文件修订说明的公告 2021-11-04
432 芯源微:芯源微关于回复《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》的公告 2021-11-04
433 芯源微:芯源微关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属结果暨股份上市的公告 2021-11-02
434 芯源微:芯源微2021年第三季度报告 2021-10-30
435 芯源微:芯源微关于向特定对象发行A股股票申请收到上海证券交易所审核问询函的公告 2021-10-08
436 芯源微:关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函 2021-10-08
437 芯源微:芯源微关于变更保荐机构后重新签订募集资金专户存储三方监管协议的公告 2021-10-08
438 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2021-09-30
439 芯源微:芯源微第一届董事会第二十九次会议决议公告 2021-09-28
440 芯源微:芯源微关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的公告 2021-09-28
441 芯源微:芯源微关于调整公司2020年限制性股票激励计划授予价格并作废处理部分限制性股票的公告 2021-09-28
442 芯源微:芯源微监事会关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属名单的核查意见 2021-09-28
443 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十九次会议相关议案的独立意见 2021-09-28
444 芯源微:中伦律所关于芯源微2020年限制性股票激励计划授予价格调整、首次授予部分第一个归属期归属条件成就暨部分限制性股票作废事项的法律意见书 2021-09-28
445 芯源微:芯源微第一届监事会第十九次会议决议公告 2021-09-28
446 芯源微:芯源微关于变更保荐机构和保荐代表人的公告 2021-09-14
447 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票募集说明书(申报稿) 2021-09-14
448 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于芯源微2021年第四次临时股东大会法律意见书 2021-09-14
449 芯源微:芯源微关于向特定对象发行A股股票申请获得上海证券交易所受理的公告 2021-09-14
450 芯源微:芯源微2021年第四次临时股东大会决议公告 2021-09-14
451 芯源微:芯源微2021年第四次临时股东大会会议资料 2021-09-04
452 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十八次会议相关议案的事前认可意见 2021-08-28
453 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十八次会议相关议案的独立意见 2021-08-28
454 芯源微:国信证券关于芯源微增加2021年度日常关联交易额度的核查意见 2021-08-28
455 芯源微:芯源微第一届监事会第十八次会议决议公告 2021-08-28
456 芯源微:芯源微关于向银行申请综合授信额度的公告 2021-08-28
457 芯源微:芯源微2021年半年度报告摘要 2021-08-28
458 芯源微:芯源微关于召开2021年第四次临时股东大会的通知 2021-08-28
459 芯源微:芯源微2021年半年度募集资金存放与使用情况专项报告 2021-08-28
460 芯源微:芯源微关于召开2021年半年度业绩说明会的公告 2021-08-28
461 芯源微:芯源微2021年半年度报告 2021-08-28
462 芯源微:国信证券关于芯源微2021年半年度持续督导跟踪报告 2021-08-28
463 芯源微:芯源微关于增加2021年度日常关联交易额度的公告 2021-08-28
464 芯源微:芯源微股票交易异常波动公告 2021-07-23
465 芯源微:芯源微高级管理人员集中竞价减持股份进展公告 2021-07-17
466 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十七次会议相关议案的独立意见 2021-07-03
467 芯源微:芯源微关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的公告 2021-07-03
468 芯源微:国信证券关于芯源微使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见 2021-07-03
469 芯源微:芯源微第一届监事会第十七次会议决议公告 2021-07-03
470 芯源微:芯源微关于归还暂时用于补充流动资金的闲置募集资金的公告 2021-07-01
471 芯源微:芯源微2021年半年度业绩预增公告 2021-06-30
472 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于芯源微2021年第三次临时股东大会法律意见书 2021-06-29
473 芯源微:芯源微2021年第三次临时股东大会决议公告 2021-06-29
474 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2021-06-26
475 芯源微:芯源微高级管理人员集中竞价减持股份计划公告 2021-06-23
476 芯源微:芯源微2021年第三次临时股东大会会议资料 2021-06-22
477 芯源微:芯源微第一届监事会第十六次会议决议公告 2021-06-12
478 芯源微:芯源微关于召开2021年第三次临时股东大会的通知 2021-06-12
479 芯源微:芯源微前次募集资金使用情况专项报告 2021-06-12
480 芯源微:芯源微前次募集资金使用情况鉴证报告 2021-06-12
481 芯源微:芯源微关于向特定对象发行A股股票预案披露的提示性公告 2021-06-12
482 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票募集资金运用的可行性分析报告 2021-06-12
483 芯源微:芯源微非经常性损益鉴证报告 2021-06-12
484 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告 2021-06-12
485 芯源微:芯源微2021年度向特定对象发行A股股票预案 2021-06-12
486 芯源微:芯源微关于本次募集资金投向属于科技创新领域的说明 2021-06-12
487 芯源微:芯源微内部控制审计报告 2021-06-12
488 芯源微:芯源微未来三年(2021年-2023年)股东回报规划 2021-06-12
489 芯源微:芯源微关于使用部分超募资金永久补充流动资金的公告 2021-06-12
490 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十六次会议相关议案的独立意见 2021-06-12
491 芯源微:国信证券关于芯源微使用部分超募资金永久补充流动资金的核查意见 2021-06-12
492 芯源微:芯源微关于向特定对象发行股票摊薄即期回报及采取填补措施和相关主体的承诺的公告 2021-06-12
493 芯源微:芯源微关于最近五年未被证券监管部门和交易所采取监管措施或处罚情况的公告 2021-06-12
494 芯源微:芯源微第一届董事会第二十六次会议决议公告 2021-06-12
495 芯源微:芯源微关于5%以上股东减持股份结果公告 2021-06-04
496 芯源微:国信证券关于芯源微核心技术人员离职的核查意见 2021-06-01
497 芯源微:芯源微关于公司核心技术人员离职的公告 2021-06-01
498 芯源微:芯源微2021年第二次临时股东大会决议公告 2021-04-27
499 芯源微:上海荣正投资咨询股份有限公司关于芯源微2021年限制性股票激励计划首次授予事项之独立财务顾问报告 2021-04-27
500 芯源微:芯源微监事会关于2021年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的核查意见(截止授予日) 2021-04-27
501 芯源微:芯源微2021年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单(截止授予日) 2021-04-27
502 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2021年限制性股票激励计划向激励对象首次授予限制性股票的法律意见书 2021-04-27
503 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十五次会议相关议案的独立意见 2021-04-27
504 芯源微:芯源微关于向激励对象首次授予限制性股票的公告 2021-04-27
505 芯源微:芯源微2021年第一季度报告全文 2021-04-27
506 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2021-04-27
507 芯源微:芯源微第一届董事会第二十五次会议决议公告 2021-04-27
508 芯源微:芯源微第一届监事会第十五次会议决议公告 2021-04-27
509 芯源微:芯源微关于2021年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告 2021-04-27
510 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于芯源微2021年第二次临时股东大会的法律意见书 2021-04-27
511 芯源微:芯源微2021年第一季度报告正文 2021-04-27
512 芯源微:芯源微监事会关于公司2021年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的审核意见及公示情况说明 2021-04-21
513 芯源微:芯源微2020年年度权益分派实施公告 2021-04-21
514 芯源微:芯源微5%以上股东减持时间过半暨减持进展公告 2021-04-21
515 芯源微:芯源微2021年第二次临时股东大会会议资料 2021-04-17
516 芯源微:上海国浩关于芯源微2020年年度股东大会法律意见书 2021-04-10
517 芯源微:芯源微第一届监事会第十四次会议决议公告 2021-04-10
518 芯源微:芯源微2020年年度股东大会决议公告 2021-04-10
519 芯源微:芯源微2021年限制性股票激励计划(草案) 2021-04-10
520 芯源微:芯源微2021年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单 2021-04-10
521 芯源微:芯源微关于独立董事公开征集委托投票权的公告 2021-04-10
522 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十四次会议相关议案的独立意见 2021-04-10
523 芯源微:中伦关于芯源微2020年限制性股票激励计划向激励对象授予预留限制性股票的法律意见书 2021-04-10
524 芯源微:芯源微2020年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单(截止授予日) 2021-04-10
525 芯源微:芯源微监事会关于2020年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单的核查意见(截止授予日) 2021-04-10
526 芯源微:上海荣正关于芯源微2020年限制性股票激励计划预留授予事项之独立财务顾问报告 2021-04-10
527 芯源微:芯源微关于召开2021年第二次临时股东大会的通知 2021-04-10
528 芯源微:芯源微关于向激励对象授予预留部分限制性股票的公告 2021-04-10
529 芯源微:芯源微限制性股票激励计划实施考核管理办法 2021-04-10
530 芯源微:芯源微监事会关于公司2021年限制性股票激励计划(草案)的核查意见 2021-04-10
531 芯源微:上海荣正关于芯源微2021年限制性股票激励计划(草案)之独立财务顾问报告 2021-04-10
532 芯源微:北京中伦关于芯源微2021年限制性股票激励计划法律意见书 2021-04-10
533 芯源微:芯源微2021年限制性股票激励计划(草案)摘要公告 2021-04-10
534 芯源微:芯源微第一届董事会第二十四次会议决议公告 2021-04-10
535 芯源微:芯源微关于聘任公司高级管理人员的公告 2021-04-10
536 芯源微:芯源微2020年年度股东大会会议资料 2021-04-02
537 芯源微:芯源微关于召开2020年度业绩说明会的公告 2021-03-31
538 芯源微:芯源微募集资金年度存放与使用情况鉴证报告 2021-03-20
539 芯源微:芯源微2020年度募集资金存放与使用情况专项报告 2021-03-20
540 芯源微:芯源微关于募投项目延期的公告 2021-03-20
541 芯源微:国信证券关于芯源微募投项目延期的核查意见 2021-03-20
542 芯源微:芯源微非经营性资金占用及其他关联资金往来情况专项说明 2021-03-20
543 芯源微:芯源微2020年度独立董事述职报告 2021-03-20
544 芯源微:芯源微2020年年度报告摘要 2021-03-20
545 芯源微:国信证券关于芯源微2020年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见 2021-03-20
546 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十三次会议相关议案的独立意见 2021-03-20
547 芯源微:芯源微关于预计2021年度日常关联交易额度的公告 2021-03-20
548 芯源微:芯源微第一届监事会第十三次会议决议公告 2021-03-20
549 芯源微:芯源微关于续聘2021年度审计机构的公告 2021-03-20
550 芯源微:国信证券关于芯源微2020年度持续督导跟踪报告 2021-03-20
551 芯源微:芯源微关于召开2020年年度股东大会的通知 2021-03-20
552 芯源微:芯源微内部控制审计报告 2021-03-20
553 芯源微:芯源微2020年年度报告 2021-03-20
554 芯源微:芯源微2020年度内部控制评价报告 2021-03-20
555 芯源微:芯源微2020年度审计报告 2021-03-20
556 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十三次会议相关议案的事前认可意见 2021-03-20
557 芯源微:国信证券关于芯源微预计2021年度日常关联交易额度的核查意见 2021-03-20
558 芯源微:芯源微独立董事对公司2020年对外担保情况的专项说明和独立意见 2021-03-20
559 芯源微:芯源微2020年度董事会审计委员会履职情况报告 2021-03-20
560 芯源微:芯源微2020年年度利润分配预案公告 2021-03-20
561 芯源微:芯源微2020年度业绩快报公告 2021-02-25
562 芯源微:芯源微2021年第一次临时股东大会决议公告 2021-02-02
563 芯源微:国浩律师(上海)事务所关于芯源微2021年第一次临时股东大会的法律意见书 2021-02-02
564 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2021-01-26
565 芯源微:芯源微2021年第一次临时股东大会会议资料 2021-01-23
566 芯源微:芯源微关于股东权益变动的提示性公告 2021-01-22
567 芯源微:芯源微简式权益变动报告书 2021-01-22
568 芯源微:芯源微关于5%以上股东减持股份结果公告 2021-01-21
569 芯源微:芯源微2020年年度业绩预增公告 2021-01-16
570 芯源微:芯源微关于召开2021年第一次临时股东大会的通知 2021-01-16
571 芯源微:芯源微关于拟签署投资协议的公告 2021-01-16
572 芯源微:芯源微关于5%以上股东减持股份进展暨减持超过1%的提示性公告 2021-01-13
573 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2020-12-31
574 芯源微:芯源微关于获得政府补助的公告 2020-12-29
575 芯源微:芯源微第一届监事会第十二次会议决议公告 2020-12-25
576 芯源微:芯源微关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告 2020-12-25
577 芯源微:国信证券关于芯源微使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见 2020-12-25
578 芯源微:芯源微独立董事关于第一届董事会第二十一次会议相关事项的独立意见 2020-12-25
579 芯源微:芯源微关于5%以上股东减持股份计划公告 2020-12-17
580 芯源微:芯源微首次公开发行部分限售股上市流通公告 2020-12-09
581 芯源微:国信证券关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行部分限售股解禁上市流通的核查意见 2020-12-09
582 芯源微关于更换持续督导保荐代表人的公告 2020-11-07
583 芯源微2020年第三季度报告正文 2020-10-29
584 芯源微2020年第三季度报告全文 2020-10-29
585 芯源微关于获得政府补助的公告 2020-09-30
586 芯源微监事会关于2020年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的核查意见(截止授予日) 2020-09-26
587 芯源微2020年第一次临时股东大会决议公告 2020-09-26
588 芯源微关于2020年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告 2020-09-26
589 芯源微2020年第一次临时股东大会的法律意见书 2020-09-26
590 芯源微第一届监事会第十次会议决议公告 2020-09-26
591 芯源微:上海荣正投资咨询股份有限公司关于芯源微2020年限制性股票激励计划首次授予事项之独立财务顾问报告 2020-09-26
592 芯源微第一届董事会第十九次会议决议公告 2020-09-26
593 芯源微关于向激励对象首次授予限制性股票的公告 2020-09-26
594 芯源微:北京市中伦律师事务所关于芯源微2020年限制性股票激励计划向激励对象首次授予限制性股票的法律意见书 2020-09-26
595 芯源微独立董事关于第一届董事会第十九次会议相关事项的独立意见 2020-09-26
596 芯源微2020年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单(截止授予日) 2020-09-26
597 芯源微2020年第一次临时股东大会会议资料 2020-09-15
598 芯源微监事会关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的审核意见及公示情况说明 2020-09-09
599 芯源微关于召开2020年第一次临时股东大会的通知 2020-08-27
600 芯源微关于参加辽宁辖区上市公司投资者网上集体接待日的公告 2020-08-27
601 芯源微限制性股票激励计划实施考核管理办法 2020-08-27
602 芯源微2020年限制性股票激励计划(草案) 2020-08-27
603 芯源微2020年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单 2020-08-27
604 芯源微关于独立董事公开征集委托投票权的公告 2020-08-27
605 芯源微2020年半年度报告摘要 2020-08-27
606 芯源微第一届董事会第十八次会议决议公告 2020-08-27
607 芯源微2020年限制性股票激励计划(草案)摘要公告 2020-08-27
608 芯源微:中伦关于芯源微2020年限制性股票激励计划的法律意见书 2020-08-27
609 芯源微:上海荣正投资咨询股份有限公司关于芯源微2020年限制性股票激励计划(草案)之独立财务顾问报告 2020-08-27
610 芯源微监事会关于公司2020年限制性股票激励计划(草案)的核查意见 2020-08-27
611 芯源微2020年半年度报告 2020-08-27
612 芯源微:国信证券关于芯源微2020年半年度持续督导跟踪报告 2020-08-27
613 芯源微2020年半年度募集资金存放与使用情况专项报告 2020-08-27
614 芯源微关于预计2020年度日常关联交易额度的公告 2020-08-27
615 芯源微独立董事关于第一届董事会第十八次会议相关事项的事前认可意见 2020-08-27
616 芯源微独立董事关于第一届董事会第十八次会议相关事项的独立意见 2020-08-27
617 芯源微:国信证券关于芯源微预计2020年度日常关联交易额度的核查意见 2020-08-27
618 芯源微第一届监事会第九次会议决议公告 2020-08-27
619 芯源微股票交易异常波动公告 2020-08-13
620 芯源微:国信证券股份有限公司关于芯源微使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见 2020-07-03
621 芯源微第一届监事会第八次会议决议公告 2020-07-03
622 芯源微关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的公告 2020-07-03
623 芯源微独立董事关于第一届董事会第十七次会议相关议案的独立意见 2020-07-03
624 芯源微关于获得政府补助的公告 2020-07-01
625 芯源微2019年年度权益分派实施公告 2020-06-24
626 芯源微关于职工代表监事辞职及补选职工代表监事的公告 2020-06-19
627 芯源微首次公开发行网下配售限售股上市流通公告 2020-06-09
628 芯源微:国信证券关于芯源微首次公开发行部分限售股解禁上市流通的核查意见 2020-06-09
629 芯源微2019年年度股东大会决议公告 2020-05-26
630 芯源微2019年年度股东大会法律意见书 2020-05-26
631 芯源微2019年年度股东大会会议资料 2020-05-15
632 芯源微关于获得政府补助的公告 2020-05-06
633 芯源微关于变更公司董事的公告 2020-04-30
634 芯源微关于召开2019年年度股东大会的通知 2020-04-30
635 芯源微独立董事关于第一届董事会第十六次会议相关议案的独立意见 2020-04-30
636 芯源微关于更换持续督导保荐代表人的公告 2020-04-25
637 芯源微关于变更部分募投项目实施地点的公告 2020-04-25
638 芯源微:国信证券关于芯源微变更部分募投项目实施地点的核查意见 2020-04-25
639 芯源微关于续聘2020年度审计机构的公告 2020-04-25
640 芯源微独立董事关于第一届董事会第十五次会议相关议案的独立意见 2020-04-25
641 芯源微独立董事关于第一届董事会第十五次会议相关议案的事前认可意见 2020-04-25
642 芯源微关于会计政策变更的公告 2020-04-25
643 芯源微关于变更投资者联系邮箱的公告 2020-04-25
644 芯源微2019年年度利润分配预案公告 2020-04-25
645 芯源微第一届监事会第七次会议决议公告 2020-04-25
646 芯源微2019年年度报告摘要 2020-04-25
647 芯源微2019年度募集资金存放与使用情况专项报告 2020-04-25
648 芯源微2019年年度报告 2020-04-25
649 芯源微独立董事对公司2019年对外担保情况的专项说明和独立意见 2020-04-25
650 芯源微:2019年度审计报告 2020-04-25
651 芯源微2019年度独立董事述职报告 2020-04-25
652 芯源微:容诚关于芯源微非经营性资金占用及其他关联资金往来情况专项说明 2020-04-25
653 芯源微2019年度内部控制评价报告 2020-04-25
654 芯源微:国信证券关于芯源微2019年度持续督导跟踪报告 2020-04-25
655 芯源微2019年度董事会审计委员会履职情况报告 2020-04-25
656 芯源微2020年第一季度报告正文 2020-04-25
657 芯源微2020年第一季度报告 2020-04-25
658 芯源微:募集资金年度存放与使用情况鉴证报告 2020-04-25
659 芯源微:国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2019年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见 2020-04-25
660 芯源微关于使用部分超募资金永久补充流动资金的公告 2020-04-25
661 芯源微关于使用募集资金置换预先投入自筹资金的公告 2020-04-25
662 芯源微:国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司使用部分超募资金永久补充流动资金的核查意见 2020-04-25
663 芯源微:国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司使用募集资金置换预先投入自筹资金的核查意见 2020-04-25
664 芯源微:容诚关于芯源微以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告 2020-04-25
665 芯源微关于诉讼事项款项收回的公告 2020-04-08
666 芯源微2019年度业绩快报公告 2020-02-27
667 芯源微关于获得政府补助的公告 2020-02-19
668 芯源微关于捐赠支持抗击新型冠状病毒肺炎疫情的公告 2020-02-03
669 芯源微股票交易异常波动公告 2020-01-31
670 芯源微关于变更公司注册资本、公司类型、修订《公司章程》并办理工商变更登记的公告 2020-01-10
671 芯源微公司章程 2020-01-10
672 芯源微媒体采访和投资者调研接待办法 2020-01-10
673 芯源微关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告 2019-12-26
674 芯源微独立董事关于第一届董事会第十三次会议相关事项的独立意见函 2019-12-26
675 芯源微第一届监事会第六次会议决议公告 2019-12-26
676 芯源微:国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见 2019-12-26
677 芯源微关于获得政府补助的公告 2019-12-20
678 芯源微关于诉讼事项二审终审判决结果的公告 2019-12-19
679 芯源微首次公开发行股票科创板上市公告书 2019-12-13
680 芯源微公司章程 2019-12-13
681 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书 2019-12-10
682 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市发行结果公告 2019-12-10
683 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市网下初步配售结果及网上中签结果公告 2019-12-06
684 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市网上发行申购情况及中签率公告 2019-12-05
685 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市发行公告 2019-12-03
686 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市战略配售事项的专项核查意见 2019-12-03
687 广东广和律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市战略配售的法律意见书 2019-12-03
688 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市投资风险特别公告 2019-12-03
689 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市网上路演公告 2019-12-02
690 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市发行安排及初步询价公告 2019-11-26
691 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市招股意向书附录(一) 2019-11-26
692 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市招股意向书附录(三) 2019-11-26
693 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市招股意向书附录(二) 2019-11-26
694 芯源微首次公开发行股票并在科创板上市招股意向书 2019-11-26
695 关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复 2019-11-19
696 8-1发行人及保荐机构回复意见 2019-11-15
697 8-2会计师回复意见 2019-11-15
698 沈阳芯源微电子设备股份有限公司科创板首次公开发行股票招股说明书(注册稿) 2019-11-15
699 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之发行保荐书 2019-10-28
700 沈阳芯源微电子设备股份有限公司科创板首次公开发行股票招股说明书(注册稿) 2019-10-28
701 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之上市保荐书 2019-10-28
702 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的财务报表及审计报告 2019-10-28
703 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的法律意见书 2019-10-28
704 8-1发行人及保荐机构回复意见 2019-10-25
705 沈阳芯源微电子设备股份有限公司及国信证券股份有限公司关于审核中心意见落实函的回复(2019年半年报财务数据更新版) 2019-10-24
706 沈阳芯源微电子设备股份有限公司及国信证券股份有限公司关于第二轮审核问询函的回复(2019年半年报财务数据更新版) 2019-10-24
707 沈阳芯源微电子设备股份有限公司及国信证券股份有限公司关于审核问询函的回复(2019年半年报财务数据更新版) 2019-10-24
708 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于审核中心意见落实函的回复(2019年半年报财务数据更新版) 2019-10-24
709 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于第二轮审核问询函的回复(2019年半年报财务数据更新版) 2019-10-24
710 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于审核问询函的回复(2019年半年报财务数据更新版) 2019-10-24
711 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行A股股票并在科创板上市的补充法律意见书(五) 2019-10-24
712 沈阳芯源微电子设备股份有限公司及国信证券股份有限公司关于审核中心意见落实函的回复 2019-10-11
713 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于审核中心意见落实函的回复 2019-10-11
714 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行A股股票并在科创板上市的补充法律意见书(三) 2019-10-11
715 沈阳芯源微电子设备股份有限公司科创板首次公开发行股票招股说明书(上会稿) 2019-10-11
716 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之发行保荐书 2019-10-11
717 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之上市保荐书 2019-10-11
718 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的财务报表及审计报告 2019-10-11
719 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的法律意见书 2019-10-11
720 沈阳芯源微电子设备股份有限公司及国信证券股份有限公司关于第二轮审核问询函的回复 2019-09-27
721 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于第二轮审核问询函的回复 2019-09-27
722 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行A股股票并在科创板上市的补充法律意见书(二) 2019-09-27
723 沈阳芯源微电子设备股份有限公司及国信证券股份有限公司关于审核问询函的回复 2019-09-05
724 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于审核问询函的回复 2019-09-05
725 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行A股股票并在科创板上市的补充法律意见书 2019-09-05
726 沈阳芯源微电子设备股份有限公司科创板首次公开发行股票招股说明书(申报稿) 2019-07-12
727 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之发行保荐书 2019-07-12
728 国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之上市保荐书 2019-07-12
729 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的财务报表及审计报告 2019-07-12
730 北京市中伦律师事务所关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的法律意见书 2019-07-12
                            
募集资金投向
序号 项目简介 总投资金额(万元) 拟投入募集资金(万元)
1 高端晶圆处理设备产业化项目 23860.7 23860.7
2 高端晶圆处理设备研发中心项目 13918.2 13918.2